Trockenaetzanlage

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

200/300 mm Wafer bridge tool -4 port Mainframe vorerst ausgelegt für 200 mm Wafer mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit:
a) 1x Trockenätzkammer für Strukturierung von metallischen Schichten (siehe Punkt 3)
b) 1x Trockenätzkammer für Strukturierung von Siliziumschichten (siehe Punkt 4)
c) 1x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 5)

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-07-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-06-02.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-06-02 Auftragsbekanntmachung
2023-08-30 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2023-06-02)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: https://www.ihp-microelectronics.com/ 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY164BN7JC/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY164BN7JC 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschung und Entwicklung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Trockenaetzanlage IHP-2023-056 -1
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“200/300 mm Wafer bridge tool -4 port Mainframe vorerst ausgelegt für 200 mm Wafer mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1x Trockenätzkammer...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)”
Beschreibung der Beschaffung:
“200/300 mm Wafer bridge tool -4 port Mainframe vorerst ausgelegt für 200 mm Wafer mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1x Trockenätzkammer...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 1

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.”
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen: Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-07-04 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-09-01 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-07-04 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Quelle: OJS 2023/S 108-339434 (2023-06-02)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-08-30)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Nationale Registrierungsnummer: 2023/S 108-339434

Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 4294799.76 💰
Vergabekriterien
Preis

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2023/S 108-339434

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 2231351
Titel: Auftragsvergabe Applied Materials
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-07-26 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Applied Materials
Postanschrift: Buchenstrasse 16b
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01097
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3518002420 📞
E-Mail: reinhard_suhle@amat.com 📧
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 4294799.76 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1BM61HZ0
Quelle: OJS 2023/S 169-531656 (2023-08-30)