UV-Lithografie- und Bondaligner

Ruhr-Universität Bochum

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt einen Maskenbelichter zu beschaffen, der im For-schungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser einge-setzt werden soll. Der Mikrosystemtechnik-Reinraum verfügt über eine Basisausstattung für die Si-basierte MEMS-Strukturierung von 100 mm und 200 mm Substraten sowie für 2D-Elektroniksysteme auf Si, Gläsern und flexiblen Substraten bis 200 mm. Die notwendigen Gerä-te zum Belacken und Entwickeln von Wafern bis 200 mm sind vorhanden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-09-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-08-27.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-08-27 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2023-08-27)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Ruhr-Universität Bochum
Postanschrift: Universitätsstr. 150
Postort: Bochum
Postleitzahl: 44801
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: beschaffung@uv.rub.de 📧
Region: Bochum, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: www.rub.de 🌏
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7DZWW/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7DZWW 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: UV-Lithografie- und Bondaligner WD/4/2023/520060055
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt einen Maskenbelichter zu beschaffen, der im For-schungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 690 000 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Bochum, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Ruhr-Universität Bochum Universitätsstr. 150 44801 Bochum
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt einen Maskenbelichter zu beschaffen, der im For-schungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 4

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“6 Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) Angaben zum Bestehen einer...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerblicher Dialog
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-09-28 12:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2023-08-27 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNYH7DZWW
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Postort: Münster
Postleitzahl: 48147
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Postort: Münster
Postleitzahl: 48147
Land: Deutschland 🇩🇪
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Postort: Münster
Postleitzahl: 48147
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2023/S 168-525910 (2023-08-27)