2022-04-05Elektronenstrahl-Lithografieanlage (Universität Duisburg-Essen)
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:JEOL Germany GmbH
2021-08-10Elektronenstrahlschreiber (Universität Stuttgart)
Gegenstand der Beschaffung ist ein dedizierter "high performance" Elektronenstrahlschreiber. Das Gerät dient zur großflächigen Strukturierung von Quantenmaterialien mit einer Präzision von wenigen Nanometern. Besonders soll dadurch die Herstellung von Masken für die Implantation von Quantendefekten über Flächen von mehreren (100?m)2 bei einer Genauigkeit von besser als 20nm erreicht werden.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Raith GmbH