2015-08-28MOVPE System für AlGaN Epitaxie (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
MOVPE System für AlGaN Epitaxie:
Es erfolgt eine Ausschreibung für eine F&E MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) Anlage zur Herstellung hochwertiger AlxGa1-xN Epitaxieschichten mit hohem Al Gehalt auf Substraten mit Durchmessern bis zu 125 mm. Das System soll für die Benutzung hochreiner (8N bis 9N) metallorganischer Pozessgase für das Wachstum und Dotierung (i. e. H2, N2, NH3, TMGa, TMAl, SiH4 oder Si2H6, Cp2Mg) bei Prozesstemperaturen bis zu 1 300°C (idealerweise ≥1400°C) und Prozessdrücken von 50 …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Aixtron Ltd.