Anbieter: ATMvision AG

2 archivierte Beschaffungen

Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter ATMvision AG erwähnt wird

2011-06-01   Lieferung und Installation eines automatischen Lackprozessors (Forschungsverbund Berlin e.V.)
Lackprozessor für Elektronenstrahllithographie. Die konkrete Leistungsbeschreibung befindet sich unter: www.fbh-berlin.de/beschaffung/Lackprozessor.pdf. Ansicht der Beschaffung »
Erwähnte Lieferanten: ATMvision AG
2011-05-02   Wet Process Spin Station (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“ Fotomasken) gereinigt und geätzt werden. Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer, angetrieben durch einen Spinner-Motor. Das gesamte System besteht aus mindestens einer Prozeßkammer und wird manuell mit einem Wafer pro Prozeß beladen. Das System soll … Ansicht der Beschaffung »
Erwähnte Lieferanten: ATMvision AG
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