2011-04-20Clusterplattform (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Vakuum-Clusterplattform zur Handhabung von 450 mm und 300 mm Wafern in der Halbleiterfertigung: Die Clusterplattform kommt in einem Reinraum zum Einsatz und dient dem Anschluss von mindestens drei Prozessmodulen. Die Plattform besteht aus einem zentralen Transportmodul und mindestens einem Belademodul (keine Prozessmodule).
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Aurion Anlagentechnik GmbH