Anbieter: centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG
2 archivierte Beschaffungen
Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG erwähnt wird
2011-12-12Niederdruck-Gasphasenabscheidungssystem (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Ein vertikales Niederdruck-Gasphasenabscheidungssystem für die Abscheidung von Polysiliciumschichten im Dickenbereich von 10 nm bis 2 μm auf Siliciumscheiben mit maximal 200 mm Scheibendurchmesser und vorzugsweise einer Batchgröße von 25 Scheiben. Um für die dotierte Abscheidung eine möglichst hohe Homogenität des spezifischen Widerstands, sowohl über die Scheibe, als auch über das Boot erreichen zu können, ist ein fortschrittliches Gasinjektionssystem und eine Scheibenrotation wünschenswert. Da wir vor …
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2011-10-25Diffusionsofen (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Ein Diffusionsofen, bestehend aus 4 horizontalen Rohren für Scheibendurchmesser bis 200 mm und Batchgrößen bis 100 Stück Siliciumscheiben. Eine Konfiguration, bestehend aus trockener Oxidation, feuchter Oxidation, POCl3 Dotierung und Formiergastemperung wird angestrebt. Aufgrund von Forschungsaufgaben müssen ziemlich unterschiedliche Oxidationsrezepte in ein und demselben Rohr gefahren werden. Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert. Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die …
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