2021-01-06PVD Chamber for Sputter Deposition (HI ERN) II (Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB))
Das Helmholtz-Institut Erlangen-Nürnberg für Erneuerbare Energien (HI-ERN) erforscht und entwickelt material-und prozessbasierte Lösungen für eine klimaneutrale, nachhaltige und kostengünstige Nutzbarmachungerneuerbarer Energien. Das Institut beschäftigt sich mit der strukturellen und funktionellen Charakterisierung, Modellierung und Herstellung von Materialien, die für die Wasserstoff- und Solartechnik relevant sind. Das gemeinsame Ziel ist das Verständnis der Struktur-Leistungs-Prozessbeziehung auf der …
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2020-02-27PVD-Anlage (GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH)
Das Targetlabor bei GSI, Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung, gehört zur wissenschaftlich-technischen Infrastruktur und unterstützt die Forschung bei GSI & FAIR. Das Targetlabor stellt Ziele für den Schwerionenstrahl her. Des Weiteren werden Stripper und Abbremstargets für den Beschleuniger hergestellt. Benötigt werden freitragende Schichten über einen großen Dickenbereich. Mit dieser PVD-Anlage sollen freitragende Dünnschichten zwischen wenigen Nanometern und einigen Mikrometern durch …
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2018-07-05Aufdampfanlage (Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.)
Es soll eine Anlage zur Beschichtung von glatten Oberflächen mit Metallen, Halbleitern und Isolatoren beschafft werden. Die zu beschichtenden Oberflächen sind ebenfalls Halbleiter, Isolatoren oder Metalle, die in Stücken von 0,5 cm x 0,5 cm bis zu 6 Zoll Wafern vorliegen. Die Schichten sollen Dicken von 1 nm bis zu einigen μm haben und mit hoher Präzision und Reinheit aufgebracht werden. Für solche Prozesse hat sich die sogenannte Aufdampftechnik bewährt, bei der ein Material bis über seinen Schmelzpunkt …
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