2014-01-20Glovebox und Maskaligner (Technische Universität Dresden)
Die im Rahmen des Offenen Verfahrens ausgeschriebene „Glovebox mit Maskaligner “ soll am Institut für Angewandte Photophysik der TU Dresden eingesetzt werden.
Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung einer Glovebox mit integriertem Belichter zur Lithographie unter Schutzatmosphäre. Die Ausschreibung wurde in zwei Lose aufgeteilt. Los 1 beinhaltet die Glovebox inkl. aller nötigen Anschlüsse für die Integration des Maskaligners aus Los 2. Los 2 beinhaltet den Maskaligner zur Integration und Betrieb …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:M. Braun Inertgas-Systeme GmbHSÜSS MicroTec Lithography GmbH