Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Nikon Precision Europe GmbH erwähnt wird
2022-11-11Service Support (IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik)
Der Leistungsumfang betrifft die beiden folgenden Belichtungsmaschinen:
1. NIKON NSR SF150 mit der Seriennummer: 2420019
2. NIKON NSR S210D mit der Seriennummer: 8834006
Der Vertrag umfasst eine Laufzeit von zwei Jahren ab Auftragserteilung.
Der Service-Support-Vertrag muss inhaltlich den Betrieb der beiden Maschinen innerhalb der Maschinenspezifikationen des Herstellers absichern.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance beinhalten (vorbeugende Instandhaltung) …
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2016-09-06I-line Stepper (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Es soll ein i-line Stepper ausgewählt werden. Mit dieser Projektions-lithographiean. sollen Fotolackschichten auf Halbleitersubs. (Wafer) mit hoher Präzision und Genauigkeit bezüglich Auflösungsverm. (MFS, minimal feature size), Lage der zu belichtenden Strukturen zu bereits strukturierten Schichten (overlay), deren Korrektur bei Verzerrung/Verzeichnung des Substrates und Schärfentiefe belichtet werden. Der Stepper soll die in HHI-PC eingesetzten Wafer aus IndiumPhosphid (InP) + die aktuellen Wafergrößen …
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2016-06-06Service Support für – Belichtungsmaschinen NSR S207D und NSR SF150 (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Service Support für – Belichtungsmaschinen NSR S207D (Customer tool code LIT-4) und NSR SF150 (Customer tool code LIT-5).
Der Service Support Vertrag soll inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der beiden Maschinen absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance beinhalten (vorbeugende Instandhaltung, Mängel- und Fehlerbeseitigung).
Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall …
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