2020-06-26Plasma ALD-System (AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH)
Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem definierten Schichtsystem (Monolage hBN/Graphen). Die Einkapselung durch die Al2O3-Schicht muss derart erfolgen, dass die Schädigung des darunterliegenden Schichtsystems durch die Einwirkung des Plasmas so gering wie möglich ist.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Oxford Instruments GmbH Plasma