Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter scia systems erwähnt wird
2020-05-06ALD-Anlage (NaMLab gGmbH)
Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden.
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