Anbieter: SENTCH GmbH

Eine archivierte Beschaffung

Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter SENTCH GmbH erwähnt wird

2019-06-21   Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) (Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung)
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie … Ansicht der Beschaffung »
Erwähnte Lieferanten: SENTCH GmbH