Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter SPTSTechnologies Limited erwähnt wird
2020-04-20Tiefe Oxidätzkammer „Synapse“ (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1x Rapier- und 1x APM-Kammer montiert sind;
2. Mindestanforderung an Kammer:
2.1. Installation in Reinraum Klasse 1,
2.2. Einsatzgebiet Tiefes Oxidätzen (low pressure + high density plasma) von 200 mm Wafer,
2.3. Hardware und Prozess muss vollständig mit state of the art Software gesteuert und in die bestehende Anlage und Anlagensteuerung integriert werden, ohne das …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:SPTSTechnologies Limited