2014-07-02Sputter-Tool (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Sputter-Tool:
Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) Sputter-Tool. In diesem Sputter-Tool werden 8“ (200 mm) Wafer nach den im „Lastenheft“ aufgeführten Spezifikationen prozessiert.
Das System besteht aus mindestens vier Prozess-Kammern (ein Sputter-Target pro Kammer). Diese vier Kammern werden für unsere Standard-Produktion mit den Materialien Ti/TiN, TiW, Cu und AlSi genutzt.
Eine optionale fünfte Kammer wird für R&D-Zwecke mit anderen Targets benutzt, die im …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Teltec GmbH