Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Tokyo Electron Europe Headqua. Pioneer, Crawley Busine. Quarter erwähnt wird
2016-02-17E_848_219421 cl-Ols – Hochtemperaturöfen (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
E_848_219421 cl-Ols – Hochtemperaturöfen.
Horizontale und vertikale Hochtemperaturöfen zur Halbleiterfertigung zur thermischen Oxidation, Temperierung und POCl3-Belegung.
Die Öfen sollen unterschiedlich ausgestattet sein.
Eine Anlage muss 1 Prozess-Rohre bieten. Dieses kann horizontal oder vertikal angeordnet ein und zur Bearbeitung (POCl3-Belegung) von jeweils mindestens 50 Prozess-Wafern sowie den notwendigen Dummy-Wafern im Batch geeigenet sein. Die Anlage ist für den Einsatz in der …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:INOTHERM Industriewärmegeräte GmbHTokyo Electron Europe Headqua. Pioneer,...