Atomic Layer Deposition (ALD) System

Karlsruhe Institute of Technology (KIT) - Campus Nord

The ALD system is supposed to be used by different users of several institutes, so the requirements to the system are diverse, ranging from coating of flat wafers and high aspect ratio nano structures, over complex 3D objects towards microparticulate powders. Regarding ALD materials, the system should be very versatile, allowing for deposition of metals (such as e.g. Pt, Ru, Ag, Ir, Cu,,...), oxides (e.g. SrTiO3, TiO2, SiO2, HfO2, Al2O3, ZrO2, MgO ...) and possibly nitrides (e.g. TiN, TaN, AlN,...) and fluorites (e.g. MgF2).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-12-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-10-23.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2012-10-23 Auftragsbekanntmachung
2013-02-06 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2012-10-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Werkzeugmaschinen für die Metalloberflächenbehandlung
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Werkzeugmaschinen für die Metalloberflächenbehandlung 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Karlsruhe Institute of Technology (KIT) - Campus Nord
Postanschrift: Hermann-von Helmholtz-Platz 1
Postleitzahl: 76344
Postort: Eggenstein-Leopoldshafen
Kontakt
Internetadresse: http://www.kit.edu 🌏
Telefon: +49 72160825314 📞
Fax: +49 72160825982 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-10-23 📅
Einreichungsfrist: 2012-12-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-10-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 206-338837
ABl. S-Ausgabe: 206

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
The ALD system is supposed to be used by different users of several institutes, so the requirements to the system are diverse, ranging from coating of flat wafers and high aspect ratio nano structures, over complex 3D objects towards microparticulate powders. Regarding ALD materials, the system should be very versatile, allowing for deposition of metals (such as e.g. Pt, Ru, Ag, Ir, Cu,,...), oxides (e.g. SrTiO3, TiO2, SiO2, HfO2, Al2O3, ZrO2, MgO ...) and possibly nitrides (e.g. TiN, TaN, AlN,...) and fluorites (e.g. MgF2).
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Dauer: 6 Monate
Referenznummer: 240/35169202/INT
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: DE 76344 Eggenstein-Leopoldshafen.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-02-28 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2012-12-10 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Jens König
Internetadresse: www.kit.edu 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 240/35169202/INT

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Schlossplatz 1-3
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76247
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2012/S 206-338837 (2012-10-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2013-02-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Nichtmedizinische Röntgenausrüstung
Gesamtwert des Auftrags: 455 131 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Nichtmedizinische Röntgenausrüstung 📦

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Karlsruher Institut für Technologie - Campus Nord

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-02-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-02-09 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 029-044384
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 206-338837
ABl. S-Ausgabe: 29

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 240/20528537/INT
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 76344 Leopoldshafen.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (50)
2. Technische Ausführung (50)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-02-05 📅
Name: Picosun Oy
Postanschrift: Tietotie 3
Postort: Espoo
Postleitzahl: 02150
Land: Finnland 🇫🇮
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2013/S 029-044384 (2013-02-06)
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