Focus ion Beam inkl. Rasterelektronenmikroskop

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Die Gerätkombination, eine Zweistrahl-Anlage (FIB & REM), soll dazu dienen, die Prozesse in der Aufbau-und Verbindungstechnik zu analysieren und zu qualifizieren. Neben der Charakterisierung der Werkstoffeigenschaften im Mikro/Nano –Übergangsbereich sollen strukturelle Untersuchungen zur.
Bewertung der Zuverlässigkeit und Abschätzung der Lebensdauer elektronischer.
Systeme herangezogen werden.
Schwerpunkte sind unter anderem:
— Materialanalytik,
— Charakterisierung von Grenzflächen,
— Untersuchungen zur Zuverlässigkeit von Mikro- und Nanosystemen,
— Analytik in der 3D Integration,
— Elementanalyse an dünnen Schichten,
— Strukturierung bzw. schneiden von Mikro Pillars für Folge-.
Untersuchung am Pico Indenter.
Das Gerät soll eine Kombination aus hochauflösendem REM verbunden mit einer.
Ionenstrahlpräparation sein, wobei während der Ionenstrahlpräparation eine.
Beobachtung des Präparationsfortschritts möglich sein soll.
Um diese Analytik zu ermöglichen, soll das zu erwerbende System neben den entsprechenden REM-Detektoren, TEM- Lamellen Präparationstool, 3D.
Rekonstruktion bzw. FIB-Serienschnitten, einem EDX-Detektor sowie den entsprechenden Bedienungs- und Auswerte-Softwarepaketen ausgestattet sein.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-12-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-10-31.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • FEI Deutschland GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope

Wo?

• • Deutschland › Berlin