„Rasterelektronenmikroskop (REM)“ AZ 225013/12
Das im Offenen Verfahren ausgeschriebene Rasterelektronenmikroskop (REM) soll in der Arbeitsgruppe von Prof. Wolf-Joachim Fischer, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik an der TU Dresden eingesetzt werden.
Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung eines geeigneten und leistungsstarken REM-Systems mit EDX-Zusatz und zusätzlichem Niedervakuumbetrieb, wobei Lieferung, Aufstellung, Inbetriebnahme und Einweisung in die Nutzung, Auswertung und Problembehebung eingeschlossen sind.
Weitere wesentliche Anforderungen an das System sind:
— LaB6-Katode zur Garantie für einen hohen und stabilen Strahlstrom,
— Elektrostatischer beam blanker, der den Anschluss eines Elphy-Systems der Firma Raith erlaubt,
— Detektor für Rückstreuelektronen,
— Detektorsystem, das das Umschalten zwischen Hoch- und Niedervakuumbereich ohne Umbauten erlaubt,
— Infrarotkamera zur Überwachung des Probenraums.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-01-07.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-11-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2012-11-20
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Auftragsbekanntmachung
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| 2013-06-28
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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