Anschaffung eines Laserstrahldirektschreibers laut Spezifikationen
Gegenstand der Ausschreibung ist das Angebot eines Laserdirektschreibers zur maskenlosen und großflächigen Strukturierung von Siliziumwafern und Quarzsubstraten bis zu Größen von 400 x 400 mm2. Das Gerät muss für die Arbeiten im Reinstraum der Klasse ISO 4 (EN ISO 14644) geeignet sein. Das Gerät soll für Forschungs- und Entwicklungsaufgaben am IMS, insbesondere für die Herstellung von Forschungs-Demonstratoren oder Mustern von Kundenentwicklungen eingesetzt werden und muss deshalb für verschiedene Substrate (Wafer, Quarzplatten, Keramik- und Kunststoffsubstrate) und vielfältige mögliche Strukturgrößen einsetzbar sein. Die Anwendungsfelder der Forschungsarbeiten reichen von der Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik und Mikroaufbautechnik bis zur Herstellung optischer Komponenten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-05.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-06-20.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2013-06-20
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Auftragsbekanntmachung
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