Dual-Beam Mikroskop (FIB/REM)

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Das DLR ist das Forschungszentrum der Bundesrepublik Deutschland für Luft- und Raumfahrt. Seine Forschungs- und Entwicklungsarbeiten in Luftfahrt, Raumfahrt, Energie, Verkehr und Sicherheit sind in nationale und internationale Kooperationen eingebunden. Darüber hinaus ist das DLR im Auftrag der Bundesregierung für die Planung und Umsetzung der deutschen Raumfahrtaktivitäten zuständig. Zudem sind im DLR zwei Projektträger zur Forschungsförderung angesiedelt.
Das DLR erforscht Erde und Sonnensystem, es stellt Wissen für den Erhalt der Umwelt zur Verfügung und entwickelt umweltverträgliche Technologien für Energieversorgung, Mobilität, Kommunikation und Sicherheit. Sein Portfolio reicht dabei von der Grundlagenforschung bis zur Entwicklung von Produkten für morgen.
Das DLR betreibt Großforschungsanlagen für eigene Projekte und als Dienstleister für Partner in der Wirtschaft. Darüber hinaus fördert es den wissenschaftlichen Nachwuchs, berät die Politik und ist eine treibende Kraft in den Regionen seiner 16 Standorte.
Arbeiten im DLR
Das DLR hat 7.300 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Es unterhält 32 Institute, Test- sowie Betriebseinrichtungen und ist an 16 Standorten vertreten: Köln (Sitz des Vorstands), Augsburg, Berlin, Bonn, Braunschweig, Bremen, Göttingen, Hamburg, Jülich, Lampoldshausen, Neustrelitz, Oberpfaffenhofen, Stade, Stuttgart, Trauen und Weilheim. Das DLR hat Büros in Brüssel, Paris und Washington D.C.
Im Geschäftsjahr 2011 betrug der Etat des DLR für Forschung und Betrieb 796 Millionen Euro, davon waren 55 Prozent im Wettbewerb erworbene Drittmittel. Das außerdem vom DLR verwaltete Raumfahrtbudget hatte ein Volumen von 1.147 Millionen Euro. 65 Prozent entfielen auf den deutschen Beitrag zur Finanzierung der Europäischen Weltraumorganisation ESA, 21 Prozent auf das Deutsche Raumfahrtprogramm und 14 Prozent auf die Weltraumforschung im DLR selbst. Die Fördermittel des Projektträgers im DLR hatten ein Volumen von 1.060 Millionen Euro und des Projektträgers Luftfahrt von 164 Millionen Euro.
Die Leistungsfähigkeit des DLR basiert auf seinen hervorragend ausgebildeten und hoch motivierten Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern, die sich im DLR kontinuierlich fortbilden können. Chancengleichheit wird großgeschrieben. Mit gleitender Arbeitszeit, Teilzeitbeschäftigung und speziellen Fördermaßnahmen wird dafür gesorgt, dass sich Beruf und Familie gut vereinbaren lassen.
Das Institut für Werkstoff-Forschung des Deutschen Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. beabsichtigt eine Focused-Ion-Beam/Rasterelektronenmikroskop-Kombination mit den folgenden Spezifikationen zu beschaffen:
Anforderung für Focused-Ion-Beam/Rasterelektronenmikroskop-Kombination Standort Köln:
- Elektronen- und Ionensäule
- Auflösung bei optimalem Arbeitsabstand:
o Elektronenoptisch bei 30 keV nicht schlechter als 1 nm
o Elektronenoptisch bei15 keV nicht schlechter als 1,3 nm
o Elektronenoptisch bei 1 keV nicht schlechter als 2 nm
- Auflösung am Koinzidenzpunkt:
o Ionenoptisch bei 30 keV nicht schlechter als 4 nm
- Ausstattung für das Schneiden elektrisch isolierender Proben mit FIB
- Ausstattung für die Abbildung elektrisch isolierender Proben mit der Elektronenoptik
- Hard- und Softwareausstattung für den in-situ-Lift-out für TEM-Lamellen
- Hard- und Softwareausstattung für FIB-Tomographie
- Hard- und Softwareausstattung für das Schneiden von Microsäulen
BEZEICHNUNG: Focused-Ion-Beam/Rasterelektronenmikroskop-Kombination
KURZE BESCHREIBUNG
Anforderungsprofil für eine Focused-Ion-Beam/Rasterelektronenmikroskop-Kombination: Standort Köln.
Technische Daten:
Gerät mit Feldemissionskathode und moderner ionenoptischer Säule
Ausgerüstet für die Abbildung von elektrisch vollständig nichtleitenden, halbleitenden und leitenden Materialien
Ausgerüstet zum Schneiden (FIB) von elektrisch vollständig nichtleitenden, halbleitenden und leitenden Materialien
Ausgerüstet für die Anfertigung und Aufnahme von tomographischen Serienschnitten an elektrisch vollständig nichtleitenden Materialien wie auch leitenden Materialien
Elektronenoptischer Teil:
o Beschleunigungsspannung maximal 30 keV
o minimale kinetische Energie der zur Abbildung verwendeten Primärelektronen auf der Probenoberfläche nicht größer als 100 eV.
o Maximaler Strahlstrom der Elektronenoptik mindestens 20 nA
o Mindestauflösung der Elektronenoptik: 1 nm bei 30 keV; 1,3 nm bei 15 keV, 2 nm bei 1 keV.
Ionenoptischer Teil
o Maximale Beschleunigungsspannung 30 keV
o minimale Beschleunigungsspannung 1 keV oder weniger
o maximaler Strahlstrom mindestens 50 nA
o minimaler Strahlstrom nicht größer als 1,6 nA
o Mindestauflösung der Ionenoptik am Koinzidenzpunkt nicht schlechter als 4 nm
ölfreies Vakuumsystem
IR-Kamera in der Kammer
In-situ-Lift-out System für TEM-Proben
Gasinjektionssystem mindestens für Platin, optional zusätzlich Kohlenstoff und/oder Wolfram
Detektoren:
o SE-Detektor in der Kammer
o Rückstreuelektronendetektor in der Kammer
o In-Lens Sekundärelektronen und In-Lens Rückstreuelektronendetektor
o Einer der Rückstreuelektronendetektoren muss bei höchstens 500 V Beschleunigungsspannung oder „Landing Energy“ Bilder liefern.
Das Gerät muss so für die Nachrüstung eines integrierten Analysesystems aus EDX-Detektor und teilfokussierendem WDX-Detektors ausgelegt und mechanisch vorbereitet sein, dass bei Nachrüstung auch 3D-EDX-Mapping aufgenommen werden kann.
Das Gerät muss Hard- und Softwareseitig für das Präparieren (Schneiden) von Nano- und Microsäulen („Micropillars“) für Mikro-Druckversuche ausgestattet sein.
Software (Funktionsumfang)
o Steuerung des Gerätes und Bildaufnahme
o Automatisierte Aufnahme von tomographischen Bildserien für die Rekonstruktion
o Software zur Registrierung und zur Segmentierung der tomographischen Serien
o Lizenz für Auswerte- und Visualisierungssoftware (Amira, Resolve RT, Avizo Fire oder auch äquivalente Programme, sofern die Äquivalenz zu den genannten Lösungen gezeigt wird).
Die Installation vor Ort
Schulung von 3 Mitarbeitern für SEM, FIB und Tomographie in angemessenem Umfang

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-03-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-02-08.

Wer?

• • Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Wie?

• • Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope

Wo?

• • Köln › Köln, Kreisfreie Stadt