Laserablationsanlage

Technische Universität Dresden

Zur Herstellung mikrofluidischer Strukturen im Rahmen eines Forschungsthemas wird eine Laserablationsanlage temporär benötigt. Anforderungen dafür sind:
Anwendung:
Direkterzeugung von prototypischen Mikrofluidikstrukturen und Abformmastern (Formguß bzw. hot embossing).
Materialien:
Kunststoffe (PET/Mylar, PMMA, PC, PS, Silikone/PDMS).
Glas (Boro 3.3., Kalk-Soda)
Metalle (Edelstahl, Kupfer, Messing, Aluminium).
Lichtquelle:
UV-Bereich <= 355 nm
Pulsdauer <= 15 ps, bevorzugt <= 400 fs
Leistung im UV-Bereich größer als 1 Watt,
Repititionsrate von ca. 500 kHz, <= 1 MHz
Optik:
In Abhängigkeit von der Laserstrahlhomogenisierung und dem eingesetzten System:
6 µm Strahldurchmesser im Fokus bei industriell freigegebene Scanneroptik und F-Theta Objektive.
Strukturen:
Die zu bearbeitenden Probengröße soll 150 mm x 150 mm oder größer sein (im äußersten Notfall 130 mm x 130 mm).
Strukturgröße und Strukturtiefe zwischen 500 µm und 20 µm.
Quasi 3D-Strukturierung: 2,5-D Erzeugung von 3D Formen durch Schichtabtragung mit feiner Nachjustierung der Optik oder der Probe im µm-Bereich.
Genauigkeit der Strukturen +/- 1 µm oder besser.
Genauigkeit der Oberflächeneigenschaften: Unebenheit und Rauhigkeit <= 2 % der zu erzeugenden Schichttiefe auf geeigneten Materialien z. B. Edelstahl.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-01-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-11-04.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2013-11-04 Auftragsbekanntmachung
2014-07-09 Bekanntmachung über vergebene Aufträge