Rasterelektronenmikroskop mit fokussierendem Ionenstrahl

Technische Universität Dresden

Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung eines leistungsstarken Rasterelektronenmikroskops mit fokussierendem Ionenstrahl, wobei Lieferung, Aufstellung, Inbetriebnahme und Einweisung in die Nutzung, Auswertung und Problembehebung eingeschlossen sind. Mit dem Gerätesystem sollen u.a. die Grundlagen für die Nanoana-lytik an eindimensionalen (1D) Nanostrukturen und daraus aufgebauten Bauelementen erforscht und insbesondere die Erfordernisse und die Wirksamkeit des kombinierten Einsatzes von Ionen- und Elektronen-Mikroskopie demonstriert werden. Kinetische Prozesse in diesen Materialien und Strukturen sowie die Materialkompatibilität, insbe-sondere unter dem Aspekt zuverlässigkeitslimitierender Degradationsprozesse, stellen spezielle Inhalte der am DCN geplanten Untersuchungen dar.
Insbesondere sind Forschungs- und Entwicklungsarbeiten zu zuverlässigkeitsbegrenzenden kinetischen Prozessen in 1D-Nanostrukturen und den daraus resultierenden mikroelektronischen Bauelementen mit hochauflösenden analytischen Verfahren geplant sowie das Aufstellen von Modellen für zuverlässigkeitsbegrenzende Degradationsprozesse und das Ableiten von Schlussfolgerungen für die Materialintegration. Dazu sind folgende spezielle Aufgaben zu bearbeiten:
- Erarbeitung einer Präparations- und Messstrategie für neuartige Bauelemente unter Nutzung der Fokussierender-Ionenstrahl (Focused Ion Beam)-Technik sowie Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie (REM/TEM) und Atom Probe Tomographie (APT)
- Entwicklung einer Prozedur zur Präparation von Proben mittels Focused Ion Beam-Technik, die sowohl mittels TEM als auch mit APT analysiert werden können.
Dazu sind geringste Probenmodifikation durch FIB und beste Elektronenstrahl-Auflösung bei niedrigen Anregungsspannungen (notwendig zur Präparation nanoskaliger Proben (z. B. 1D-Elektronik-Strukturen wie Si-Nanodrähte im Exzellenzcluster „Advancing Electronics Dresden – cfaed“ für TEM und APT-Analytik und bestmögliche Auflösung bei der Elektronenstrahlabbildung der Nanostrukturen) zwingend erforderlich.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-06-28.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• FEI Deutschland GmbH

Wer?

• Technische Universität Dresden

Wie?

• Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope

Wo?

• Deutschland

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-06-28	Auftragsbekanntmachung
2014-04-01	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2013-06-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskope
Menge oder Umfang:

Lieferung, Installation eines Rasterelektronenmikroskops mit fokussierender Ionenstrahl,Erstausstattung an Verbrauchsmaterial, Zubehör und Ersatzteile,5-tägige Vor-Ort-Schulung (Einweisung in das Gerät)1 200 000

Gesamtwert des Auftrags: 1 200 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rasterelektronenmikroskope 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Dresden
Postanschrift: Helmholtzstraße 10
Postleitzahl: 01069
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-dresden.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-dresden.de 📧
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-06-28 📅
Einreichungsfrist: 2013-08-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-07-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 127-217673
ABl. S-Ausgabe: 127

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Insbesondere sind Forschungs- und Entwicklungsarbeiten zu zuverlässigkeitsbegrenzenden kinetischen Prozessen in 1D-Nanostrukturen und den daraus resultierenden mikroelektronischen Bauelementen mit hochauflösenden analytischen Verfahren geplant sowie das Aufstellen von Modellen für zuverlässigkeitsbegrenzende Degradationsprozesse und das Ableiten von Schlussfolgerungen für die Materialintegration. Dazu sind folgende spezielle Aufgaben zu bearbeiten:

- Erarbeitung einer Präparations- und Messstrategie für neuartige Bauelemente unter Nutzung der Fokussierender-Ionenstrahl (Focused Ion Beam)-Technik sowie Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie (REM/TEM) und Atom Probe Tomographie (APT)

- Entwicklung einer Prozedur zur Präparation von Proben mittels Focused Ion Beam-Technik, die sowohl mittels TEM als auch mit APT analysiert werden können.

Dazu sind geringste Probenmodifikation durch FIB und beste Elektronenstrahl-Auflösung bei niedrigen Anregungsspannungen (notwendig zur Präparation nanoskaliger Proben (z. B. 1D-Elektronik-Strukturen wie Si-Nanodrähte im Exzellenzcluster „Advancing Electronics Dresden – cfaed“ für TEM und APT-Analytik und bestmögliche Auflösung bei der Elektronenstrahlabbildung der Nanostrukturen) zwingend erforderlich.

Menge oder Umfang:

Lieferung, Installation eines Rasterelektronenmikroskops mit fokussierender Ionenstrahl,

Erstausstattung an Verbrauchsmaterial, Zubehör und Ersatzteile,

5-tägige Vor-Ort-Schulung (Einweisung in das Gerät)

Beschreibung der Optionen:

Wartungsvertrag für das Rasterelektronenmikroskop mit fokussierendem Ionenstrahl,

vollumfänglichen Wartung des Gesamtsystem,

Durchführung aller notwendigen Maßnahmen mit dem Ziel, auch das Auftreten zukünftiger Störungen zu vermeiden.

Vorläufiger Zeitplan für die Nutzung von Optionen: 24 Monate
Referenznummer: 015002/13
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: DED21

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Nachweis, dass das Unternehmen im Berufs- oder Handelsregister seines Herkunftslandes eingetragen ist. Die Vorlage einer Kopie aus dem Handelsregister genügt.

Auszug aus dem Strafregister, eine Erklärung der Stelle, die das Insolvenzregister führt, oder - in Ermangelung solcher - eine gleichwertige Bescheinigung einer Gerichts- oder Verwaltungsbehörde des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens, aus der hervorgeht, dass für das Unternehmen nicht einer der genannten Ausschlussgründe nach § 6 EG Absatz 6 VOL/A vorliegt.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Bankauskunft: Erklärung der Hausbank über die bestehende Geschäftsbeziehung. In den Erklärungen sollte insbesondere die gegenwärtige Finanz- und Liquiditätslage des Unternehmens dargestellt werden. Aktualität der Erklärung: nicht älter als drei Monate.

Nachweis einer entsprechenden Berufshaftpflichtversicherung. Bitte eine in Umfang und Deckungshöhe dem zu vergebenden Auftrag entsprechende Berufshaftpflichtversicherung nachweisen.

Gesamtumsatz der letzten drei Geschäftsjahre des Unternehmens

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Angaben über die wesentlichen in den letzten drei Jahren erbrachten Leistungen (Referenzliste).

Bescheinigungen zu den angegebenen Referenzen

Die Bescheinigungen sollten grundsätzlich den Namen und die Anschrift des jeweiligen Auftraggebers der Referenzleistung, eine Beschreibung der erbrachten Leistung nach Art, Umfang und Wert, den Leistungszeitraum sowie eine kurze Bewertung der erbrachten Leistung enthalten. Darüber hinaus ist die Angabe einer Ansprechperson für Rückfragen beim Referenzauftraggeber vorteilhaft.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: gemäß Vergabeunterlagen
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-09-08 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Sigrid Flade
Internetadresse: www.tu-dresden.de 🌏

Referenz
Daten
Datum des Beginns: 2013-10-31 📅
Datum des Endes: 2013-11-29 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 015002/13

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@ldl.sachsen.de 📧
Telefon: +49 3419771402 📞
Internetadresse: http://www.ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Rechtsbehelfe gemäß § 107 GWB: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten

nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass

dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu

entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und

gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis

Ablauf der in der Bekanntmachung

benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis

zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber

dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,

vergangen sind.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Dresden
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01062
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Quelle: OJS 2013/S 127-217673 (2013-06-28)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-04-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 196 051 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-04-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-04-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 066-112746
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 127-217673
ABl. S-Ausgabe: 66

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 015002/13x

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. bestes Leistungs-Preis-Verhältnis nach einfacher Richtwertmethode (100)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-09-30 📅
Name: FEI Deutschland GmbH
Postanschrift: An der Welle 4
Postort: Frankfurt am Main
Postleitzahl: 60322
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Quelle: OJS 2014/S 066-112746 (2014-04-01)

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