REM-FIB Zweistrahl Bearbeitungs- und Charakterisierungsmikroskop

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

REM-RIB Zweistrahl Bearbeitungs- und Charakterisierungsmikroskop: Das Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme (ISE) plant die Anschaffung eines Rasterelektronenmikroskops (REM) mit Focused Ion Beam (FIB) zur Präparation und Analyse von Proben vorwiegend aus dem Bereich der Solarzellenfertigung aus Halbleitermaterialien. Die ständige Einsatzbereitschaft des Gerätes ist ausgesprochen wichtig. Daher muss eine kurze Reaktionszei bei Sercive-und Wartungseinsätzen gewährleistet werden. Eine der Hauptaufgaben für das Gerät ist die gezielte Präparation zuvor mittels anderer Charakterisierungsmethoden identifizierter Auffälligkeiten / Fehler in Solarzellen, sowie die Bereitstellung der Präparierten Querschnitte an den fraglichen Positionen für andere Charakterisierungstechniken. Weiterhin sollen Wafer im Format 4 Zoll aus Verbindungshalbleitern über die gesamte Fläche bearbeitet und analysiert werden können, um die Qualität einzelner Prozesse über den gesamten Prozessablauf verfolgen zu können. Dabei ist es möglich, dass sich in einzelnen Fällen Photolacke auf dem Wafer befinden, die aber nicht per Ionenstrahl strukturiert werden müssen. Eine dritte Anwendung ist die Präparation von TEM Lamellen aus Solarzellen, möglichst auch gezielt an kritischen Punkten, die mit anderen Methoden ermittelt wurden. Weiterhin sollen mit dem REM Nanostrukturen auf Solarzellen charakterisiert werden. Es werden sowohl leitende, halbleitende als auch wenig leitende Proben untersucht.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-07-15.

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Mikroskope › Elektronenmikroskope