Sub-Mikrometer Röntgenmikroskop
Das Ziel der Ausschreibung ist die Beschaffung eines leistungsstarken Sub-Mikrometer Röntgenmikroskops wobei Lieferung, Aufstellung, Inbetriebnahme und Einweisung in die Nutzung, Auswertung und Problembehebung eingeschlossen sind. Mit dem Gerätesystem sollen die Grundlagen für die Nanoanalytik an neuartigen mikroelektronischen Bauelementen erforscht werden, und insbesondere die Erfordernisse und die Wirksamkeit des kombinierten Einsatzes von Röntgen- und Ionenmikroskopie demonstriert werden. Kinetische Prozesse in diesen Materialien und Strukturen sowie die Materialkompatibilität, insbesondere unter dem Aspekt zuverlässigkeitslimitierender Degradationsprozesse, stellen spezielle Aufgabenstellungen an das DCN dar.
Insbesondere sind Untersuchungen zum Einfluss von Fluktuationen/Variabilität auf die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von Bauelementen mit 1D-Nanostrukturen/Röntgentomographie geplant. Diese beinhalten die Lokalisierung von kritischen Abweichungen vom „Process of Record“ mittels Röntgentomographie, incl. der Entwicklung der entsprechenden Präparations-, Navigations- und Probentransferlösungen sowie die Erklärung des Einflusses von Fluktuationen/Variabilität auf die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von neuartigen Bauelementen.
Dazu sind folgende spezielle Aufgaben zu bearbeiten:
- Erarbeitung einer Präparations- und Messstrategie für neuartige Bauelemente unter Nutzung der Fokussierender Ionenstrahl (Focused Ion Beam)-Technik sowie Ermittlung grundlegender Messparameter für die Submikrometer-Röntgentomographie an neuar-tigen Bauelementen
- Lokalisierung von kritischen Abweichungen vom „Process of Record“ sowie von Fluktuationen/Variabilität mittels Submikrometer-Röntgentomographie, Bestimmung der Einsatzgrenzen des Verfahrens
- Erstellung eines Konzepts für die multi-skalige Analytik von mikroelektronischen Bauelementen einschließlich Mikro- und Nano-Röntgentomographie sowie von Elektronenmikroskopie.
Für in-situ Experimente (die Durchführung kinetischer Experimente) ist eine Kombination von sub-Mikrometer-Auflösung und großem Arbeitsabstand zwingend erforderlich.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-13.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-06-28.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2013-06-28
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Auftragsbekanntmachung
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| 2014-04-01
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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