Ätzanlage

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.

Die Ausschreibung zielt auf die Beschaffung eines reaktiven Ionen Ätzers mit induktiv eingekoppeltem Plasma (ICP-RIE), zur anisotropen Ätzung von Halblautersubstraten, insbesondere Silizium. Zum Leistungsumfang gehören Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung, 24 Monate Gewährleistung sowie kostenlose Software-Updates innerhalb der ersten 24 Monate nach Inbetriebnahme. Die Ätzanlage muss folgende Mindestanforderungen erfüllen:
— CE Zertifizierung,
— Strukturierung von SI Nanostrukturen,
— Ätzresultate demonstriert an Testproben,
— RIE mit Schleuse und Option für bis zu 8 Prozessgase,
— Waferhalter für 4" Wafer und Halter für 1 x 1 cm² Probenstücke, maximale Wafergröße 8",
— Heliumrückseitenkühlung für beide Probenarten,
— Pumpzeiten bei Einschleusen der Proben < 10 min.,
— Außenmaße nicht größer als 4 000 x 1 500 x 2 000 mm³ (l x b x h),
— Abgasreinigungssystem,
— Computersteuerung der Prozesse,
— Rezepte für die oben genannten Prozesse,
— Servicetechniker muss bei Störungen innerhalb von 48 h vor Ort sein,
— Software Update,
— Schulung des Laborpersonals bei Inbetriebnahme des Gerätes.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-06-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-04-23.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Sentech GmbH

Wer?

• Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2014-04-23	Auftragsbekanntmachung
2014-09-10	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2014-04-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzdr.de 🌏
E-Mail: einkauf@hzdr.de 📧
Fax: +49 3512603166 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-04-23 📅
Einreichungsfrist: 2014-06-11 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-04-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 081-141096
ABl. S-Ausgabe: 81
Zusätzliche Informationen

Unterlagen werden auf Anforderung an die Adresse einkauf@hzdr.de und unter Angabe von Name, Adresse, Ansprechpartner, Tel. und Faxnummer sowie einer E-Mail-Adresse per E-Mail kostenfrei zur Verfügung gestellt. Die Angebote dürfen nur in schriftlicher Form in einem verschlossenen und entsprechend der Vergabeunterlagen gekennzeichneten Umschlag per Post oder persönlich unter der in I.1 genannten Kontaktstelle eingereicht werden.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— CE Zertifizierung,

— Strukturierung von SI Nanostrukturen,

— Ätzresultate demonstriert an Testproben,

— RIE mit Schleuse und Option für bis zu 8 Prozessgase,

— Waferhalter für 4" Wafer und Halter für 1 x 1 cm² Probenstücke, maximale Wafergröße 8",

— Heliumrückseitenkühlung für beide Probenarten,

— Pumpzeiten bei Einschleusen der Proben < 10 min.,

— Außenmaße nicht größer als 4 000 x 1 500 x 2 000 mm³ (l x b x h),

— Abgasreinigungssystem,

— Computersteuerung der Prozesse,

— Rezepte für die oben genannten Prozesse,

— Servicetechniker muss bei Störungen innerhalb von 48 h vor Ort sein,

— Software Update,

— Schulung des Laborpersonals bei Inbetriebnahme des Gerätes.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Beschreibung der Optionen:

Optional sind für das erste Jahr nach Ablauf der Gewährleistung bzw. Garantie ein Vollservicevertrag und ein Wartungsvertrag anzubieten. Zwingend auszuweisen sind dabei die pro Jahr anfallenden Kosten sowie der jeweils anfallende Leistungsumfang.

Dauer: 6 Monate
Referenznummer: 0414FWIO
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.,

Bautzner Landstrasse 400,

01328 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

a) Nachweis der Eintragung im Berufs- oder Handelsregister des Mitgliedsstaates, in dem der Bewerber ansässig ist (Kopie, nicht älter als ein Jahr zum Zeitpunkt des Schlusstermins für den Eingang der Angebote);

b) Allgemeine Angaben zum Unternehmen (Gründungsjahr, Tätigkeitsschwerpunkte, Mitarbeiter) gemäß Formblatt Bietererklärung;

c) Erklärungen zur ordnungsgemäßen Entrichtung von Steuern und Sozialabgaben, Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft, zur Insolvenz bzw. Liquidation sowie dem Nichtvorliegen von schweren Verfehlungen (als Eigenerklärung gemäß Formblatt Bietererklärung).

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Erklärung über den Gesamtumsatzes des Unternehmens bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre (2011, 2012, 2013) (als Eigenerklärung gemäß Formblatt Bietererklärung);

b) Angabe des Umsatzes aus Leistungen der letzten 3 Geschäftsjahre, die der in diesem Vergabeverfahren zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (als Eigenerklärung gemäß Formblatt Bietererklärung);

c) Erklärung zur Betriebshaftpflichtversicherung (als Eigenerklärung gemäß Formblatt Bietererklärung).

Mindeststandards:

Zutreffend)

Als Mindestanforderung ist ein Gesamtumsatz des Bieters innerhalb der letzten 3 Geschäftsjahre von mindestens 750 000 EUR pro Jahr und Umsätze aus Leistungen, die mit denen der in diesem Vergabeverfahren zu vergebenden Leistung vergleichbar sind, von mindestens 500 000 EUR pro Jahr innerhalb der letzten 3 Geschäftsjahre erforderlich.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Angabe der wesentlichen in den letzten 3 Jahren erbrachten Leistungen mit Angabe des Auftragswertes und der Leistungszeit, die vergleichbar mit der zu vergebenden Leistung sind (gemäß Formblatt Bietererklärung).

Mindeststandards:

Mindestens 2 Referenzen im Bereich der öffentlichen Hand oder in der Privatwirtschaft notwendig.

Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Keine.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Gemäß § 17 VOL/B sowie den in den Vergabeunterlagen aufgeführten Zahlungsbedingungen.

Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:

Bietergemeinschaften haben eine Erklärung über den bevollmächtigten Vertreter und zur gesamtschuldnerischen Haftung abzugeben.

Entsprechende Unterlagen bzw. Erklärungen sind rechtsverbindlich unterschrieben mit dem Angebot vorzulegen. Die finanzielle und wirtschaftliche Leistungsfähigkeit sowie die fachliche Eignung ist für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft nachzuweisen.

Sonstige besondere Bedingungen:

Bei Einbeziehung von Partnern und Nachunternehmen ist Art und Umfang des jeweiligen Leistungsanteils darzustellen.

Die einzubeziehenden Unternehmen haben mit Angebotsabgabe neben der zwingend einzureichenden Verpflichtungserklärung in gleichem Umfang die geforderten Erklärungen, Referenzen und Nachweise einzureichen, soweit sie auf sie passen.

Verfahren
Zahlungsweise für die Unterlagen:

Gültigkeitsdauer des Angebots: 2014-08-15 📅
Öffnungsort: Entfällt.
Ort des Eröffnungstermins: Entfällt.
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Leistung (60)
2. Preis (40)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Einkauf/Gebäude 240/ Raum 132

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 0414FWIO
Zusätzliche Informationen

Die Angebote dürfen nur in schriftlicher Form in einem verschlossenen und entsprechend der Vergabeunterlagen gekennzeichneten Umschlag per Post oder persönlich unter der in I.1 genannten Kontaktstelle eingereicht werden.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 22894990 📞
Fax: +49 2289499163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Statthafter Rechtsbehelf ist gem. §§ 107 ff. GWB der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer (Ziff. VI.4.1).

Der Antrag ist unzulässig, soweit:

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat;

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden;

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden;

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Quelle: OJS 2014/S 081-141096 (2014-04-23)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-09-10)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-09-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-09-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 176-310574
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 81-141096
ABl. S-Ausgabe: 176

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz-Zentrum

Dresden-Rossendorf e. V.

Bautzner Landstrasse 400

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2014-08-08 📅
Name: Sentech GmbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Postort: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Statthafte Rechtsbehelfe sind gem.§§107 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die in Ziffer I.1) genannte Vergabestelle zu richten. Die zuständige Stelle für ein Nachprüfungsverfahren ist in Ziffer VI.3.1) genannt. Statthafter Rechtsbehelf ist gem. §§ 107 ff. GWB der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer (Ziff. VI.3.1)). Der Antrag ist unzulässig, soweit:

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind;

5. mehr als 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union vergangen sind.

Quelle: OJS 2014/S 176-310574 (2014-09-10)

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