Forschungsanlage zum reaktiven Ionenstrahl-Ätzen (RIBE-reactive ion beam etching)

Ernst-Abbe-Hochschule Jena

Die reaktive Ionen-Strahl Ätzanlage (kurz „RIBE“) (RIBE: reactive ion beam etching) soll zur Übertragung von mikro- und nanostrukturierten Ätzmasken in Substratmaterialien angewendet werden. Die Anlage muss wahlweise im rein physikalischen Modus (reines „IBE“ ion beam etching, ohne chemisch reaktive Komponente) oder im reaktiven Modus (RIBE-Modus) betrieben werden können. Als Ätzmasken sollen lithografisch strukturierte Resistmaterialien, strukturierte Metallmasken (z. B. Chrommasken) oder Mikro- und Nanostrukturen die über selbstorganisierte Prozesse entstanden sind Verwendung finden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-01-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-11-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

Wer?

• Ernst-Abbe-Hochschule Jena

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Thüringen › Jena, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2014-11-17	Auftragsbekanntmachung
2015-03-20	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2014-11-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Menge oder Umfang: 570 000
Gesamtwert des Auftrags: 570 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Ernst-Abbe-Hochschule Jena
Postanschrift: Carl-Zeiss-Promenade 2
Postleitzahl: 07745
Postort: Jena
Kontakt
E-Mail: jacqueline.engelhardt@fh-jena.de 📧
Telefon: +49 3641205220 📞
Fax: +49 3641205221 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-11-17 📅
Einreichungsfrist: 2015-01-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-11-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 223-393710
ABl. S-Ausgabe: 223
Zusätzliche Informationen
Angebotsabgabe ausschließlich über den Postweg.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Referenznummer: DM/ST-01/14-28301405
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Fachbereich SciTec, Carl-Zeiss-Promenade 2, 07745 Jena.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: Siehe Vergabeunterlagen.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: Siehe Vergabeunterlagen.
Technische und berufliche Fähigkeiten: Siehe Vergabeunterlagen.
Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Siehe Vergabeunterlagen.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Vergabeunterlagen.
Sonstige besondere Bedingungen: Siehe Vergabeunterlagen.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2015-02-28 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2015-01-12 📅
Öffnungsort: EAH Jena.
Ort des Eröffnungstermins: EAH Jena.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Referat 2, SG Beschaffung
Jacqueline Engelhardt
Name: Ernst-Abbe-Hochschule Jena, FB SciTec, z. H. Prof. Dr. Robert Brunner
E-Mail: carsten.morgenroth@fh-jena.de 📧

Referenz
Daten
Datum des Beginns: 2015-02-28 📅
Datum des Endes: 2015-10-30 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: DM/ST-01/14-28301405

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimarplatz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: poststelle@tlvwa.thueringen.de 📧
Internetadresse: http://www.thueringen.de 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Justiziar Dr. iur Carsten Morgenroth
Postanschrift: Carl-Zeiss-Promenade 2
Postort: Jena
Postleitzahl: 07745
Telefon: +49 3641205210 📞
Fax: +49 3641205201 📠
Quelle: OJS 2014/S 223-393710 (2014-11-17)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2015-03-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 570 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-03-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-03-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 059-103527
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 223-393710
ABl. S-Ausgabe: 59

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Techn. Spezifikation, Funktionsumfang, Begleitleistungen, lt. Vergabeunterlagen (70)
2. Service, Gewährleistung, Garantie lt. Vergabeunterlagen (10)
3. Preis (20)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2015-02-02 📅
Name: NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG
Postanschrift: Im Steinigen Graben 12-14
Postort: Gelnhausen
Postleitzahl: 63571
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Quelle: OJS 2015/S 059-103527 (2015-03-20)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)