Lieferung und betriebsbereite Aufstellung eines Ätz- und Beschichtungsclusters
Lieferung und betriebsbereite Aufstellung eines Clusters mit einem Beschichtungsmodul und einem Ätzmodul inkl. Transferkammer mit Beladeschleuse für die Beschichtung und Strukturierung verschiedener Substrate.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-06-02.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-04-15.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2014-04-15
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Auftragsbekanntmachung
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| 2014-07-25
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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