NaPro Plus: Beschichtungsanlage
Das HSG-IMIT plant die Beschaffung einer Anlage zur Beschichtung 4“(100 mm) / 6“ (150 mm)-Substraten mittels Sprühen von Photolacken für seinen MEMS-Reinraum als Ersatz und technologische Erweiterung für den bisherigen Maschinenpark.
Die Anlage soll dabei ebenfalls in der Lage sein 4“/6“-Substrate auch mittels konventioneller Schleudertechnik zu beschichten. Idealerweise erfolgt die Schleuderbeschichtung in der gleichen Kammer wie die Sprühbeschichtung. Kann der Hersteller keine Anlage liefern, die beide Prozesse in einer Kammer bereitstellt, steht es ihm frei, beide Prozesse in getrennten Kammern zu realisieren.
Die Anlage dient in einer Fertigung von MEMS-Bauteilen dazu, komplizierte, dreidimensionale Strukturen zu belacken.
Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen. Die Prozesslinie ist für einen Betrieb in einem Reinraum Klasse 10 (ISO 4) auszulegen.
Die Anlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen zur Produktion erforderlichen Komponenten (Monitore, Bedienelemente, maschinenspezifische Adapter, Prozesspfade, Wartungspfade usw.). Es existieren nach Übergabe/Abnahme produktionstaugliche Prozesse. Die Bedienung ist hierarchisch aufzubauen. Es ist ein Operatormode, ein Entwicklungsmode und ein Servicemode zu realisieren. Prozessdaten (Rohdaten) sind lokal auf dem System selbst zu speichern, sowie über eine ASCII-Schnittstelle abrufbar.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-04-28.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-03-14.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2014-03-14
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Auftragsbekanntmachung
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| 2014-08-12
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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