NaPro Plus: Beschichtungsanlage

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Institut für Mikro- und Informationstechnik

Das HSG-IMIT plant die Beschaffung einer Anlage zur Beschichtung 4“(100 mm) / 6“ (150 mm)-Substraten mittels Sprühen von Photolacken für seinen MEMS-Reinraum als Ersatz und technologische Erweiterung für den bisherigen Maschinenpark.
Die Anlage soll dabei ebenfalls in der Lage sein 4“/6“-Substrate auch mittels konventioneller Schleudertechnik zu beschichten. Idealerweise erfolgt die Schleuderbeschichtung in der gleichen Kammer wie die Sprühbeschichtung. Kann der Hersteller keine Anlage liefern, die beide Prozesse in einer Kammer bereitstellt, steht es ihm frei, beide Prozesse in getrennten Kammern zu realisieren.
Die Anlage dient in einer Fertigung von MEMS-Bauteilen dazu, komplizierte, dreidimensionale Strukturen zu belacken.
Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen. Die Prozesslinie ist für einen Betrieb in einem Reinraum Klasse 10 (ISO 4) auszulegen.
Die Anlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen zur Produktion erforderlichen Komponenten (Monitore, Bedienelemente, maschinenspezifische Adapter, Prozesspfade, Wartungspfade usw.). Es existieren nach Übergabe/Abnahme produktionstaugliche Prozesse. Die Bedienung ist hierarchisch aufzubauen. Es ist ein Operatormode, ein Entwicklungsmode und ein Servicemode zu realisieren. Prozessdaten (Rohdaten) sind lokal auf dem System selbst zu speichern, sowie über eine ASCII-Schnittstelle abrufbar.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-04-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-03-14.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• EVG Group E. Thallner GmbH

Wer?

• Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Institut für Mikro- und Informationstechnik

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Freiburg › Schwarzwald-Baar-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2014-03-14	Auftragsbekanntmachung
2014-08-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2014-03-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 200 000
Gesamtwert des Auftrags: 200 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Institut für Mikro- und Informationstechnik
Postanschrift: Wilhelm-Schickard-Str. 10
Postleitzahl: 78052
Postort: Villingen-Schwenningen
Kontakt
Internetadresse: http://www.hsg-imit.de 🌏
E-Mail: clemens.pecha@hsg-imit.de 📧
Telefon: +49 7721943190 📞
Fax: +49 7721943140 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-03-14 📅
Einreichungsfrist: 2014-04-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-03-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 055-091775
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 44-072966
ABl. S-Ausgabe: 55
Zusätzliche Informationen

Für den Auftrag gelten die Allgemeinen Vertragsbestimmungen für die Ausführung von Leistungen (VOL) Teil B.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Anlage soll dabei ebenfalls in der Lage sein 4“/6“-Substrate auch mittels konventioneller Schleudertechnik zu beschichten. Idealerweise erfolgt die Schleuderbeschichtung in der gleichen Kammer wie die Sprühbeschichtung. Kann der Hersteller keine Anlage liefern, die beide Prozesse in einer Kammer bereitstellt, steht es ihm frei, beide Prozesse in getrennten Kammern zu realisieren.

Die Anlage dient in einer Fertigung von MEMS-Bauteilen dazu, komplizierte, dreidimensionale Strukturen zu belacken.

Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen. Die Prozesslinie ist für einen Betrieb in einem Reinraum Klasse 10 (ISO 4) auszulegen.

Die Anlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen zur Produktion erforderlichen Komponenten (Monitore, Bedienelemente, maschinenspezifische Adapter, Prozesspfade, Wartungspfade usw.). Es existieren nach Übergabe/Abnahme produktionstaugliche Prozesse. Die Bedienung ist hierarchisch aufzubauen. Es ist ein Operatormode, ein Entwicklungsmode und ein Servicemode zu realisieren. Prozessdaten (Rohdaten) sind lokal auf dem System selbst zu speichern, sowie über eine ASCII-Schnittstelle abrufbar.

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE in Baden-Württemberg 2007 bis 2013.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Umsätze der letzten 3 Jahre.

Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben.

Nachweis einer Betriebshaftpflichtversicherung.

Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.

Technische und berufliche Fähigkeiten: Angabe von Referenzen für ähnliche Projekte der letzten drei Jahre
Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Vertragserfüllungsbürgschaften für Anzahlungen.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Gemäß VOL Teil B, sowie 30 % des Auftragsvolumens bei Auftragsbeginn, 50 % des Auftragsvolumens nach der Lieferung, 20 % des Auftragsvolumens nach Installation und vollständiger Abnahme.

Sonstige besondere Bedingungen:

Für den Auftrag gelten die Allgemeinen Bestimmungen für die Vergabe von Leistungen (VOL Teil B. Für die Überschreitung der Ausführungsfristen wird eine Vertragsstrafe vereinbart. Diese beträgt für jede vollendete'Woche 0,5 % desjenigen Teils der Leistung, der nicht genutzt werden kann. Sie beträgt maximal 8 % dieses Wertes, aber maximal 5 % des Auftragswerts.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2014-06-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2014-04-29 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Erfüllung der technischen Spezifikationen (50)
2. Wirtschaftliche Effizienz im Betrieb (Verbrauchskosten) und Langzeitverfügbarkeit von Ersatzteilen (30)
3. Wartungs- und Fehlerbehebungsservice (Rufbereitschaft) (20)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Clemens Pecha
Internetadresse: www.hsg-imit.de 🌏
Name: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Institut für Mikro- und Informationstechnik
Kontaktperson: David Hochstein
Telefon: +49 7721943129 📞
E-Mail: david.hochstein@hsg-imit.de 📧
Fax: +49 7721943210 📠
URL für weitere Informationen: www.hsg-imit.de 🌏
URL der Dokumente: www.hsg-imit.de 🌏
: http://www.hsg-imit.de 🌏

Referenz
Daten
Datum des Beginns: 2014-05-01 📅
Datum des Endes: 2014-12-31 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-03-04 📅
Kennungen
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2014/S 44-072966

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Nach erfolgloser Rüge beim Auftraggeber hat der Bieter innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung über die Nichtabhilfe der Rüge gem. § 107 GWB das Antragsrecht auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens bei der Vergabekammer Baden-Württemberg.

Quelle: OJS 2014/S 055-091775 (2014-03-14)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-08-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 169 209 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-08-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-08-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 155-278572
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 55-091775
ABl. S-Ausgabe: 155

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 14/50.001-6

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2014-07-28 📅
Name: EVG Group E. Thallner GmbH
Postanschrift: Hartham 13
Postort: Neuhaus
Postleitzahl: 94152
Land: Deutschland 🇩🇪
Internetadresse: www.EVGroup.com 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2014/S 155-278572 (2014-08-12)

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