NaPro Plus: Beschichtungsanlage

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Institut für Mikro- und Informationstechnik

Das HSG-IMIT plant die Beschaffung einer Anlage zur Beschichtung 4“(100 mm) / 6“ (150 mm)-Substraten mittels Sprühen von Photolacken für seinen MEMS-Reinraum als Ersatz und technologische Erweiterung für den bisherigen Maschinenpark.
Die Anlage soll dabei ebenfalls in der Lage sein 4“/6“-Substrate auch mittels konventioneller Schleudertechnik zu beschichten. Idealerweise erfolgt die Schleuderbeschichtung in der gleichen Kammer wie die Sprühbeschichtung. Kann der Hersteller keine Anlage liefern, die beide Prozesse in einer Kammer bereitstellt, steht es ihm frei, beide Prozesse in getrennten Kammern zu realisieren.
Die Anlage dient in einer Fertigung von MEMS-Bauteilen dazu, komplizierte, dreidimensionale Strukturen zu belacken.
Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen. Die Prozesslinie ist für einen Betrieb in einem Reinraum Klasse 10 (ISO 4) auszulegen.
Die Anlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen zur Produktion erforderlichen Komponenten (Monitore, Bedienelemente, maschinenspezifische Adapter, Prozesspfade, Wartungspfade usw.). Es existieren nach Übergabe/Abnahme produktionstaugliche Prozesse. Die Bedienung ist hierarchisch aufzubauen. Es ist ein Operatormode, ein Entwicklungsmode und ein Servicemode zu realisieren. Prozessdaten (Rohdaten) sind lokal auf dem System selbst zu speichern, sowie über eine ASCII-Schnittstelle abrufbar.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2014-04-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2014-03-14.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2014-03-14 Auftragsbekanntmachung
2014-08-12 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2014-03-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang:
“200 000”
Gesamtwert des Auftrags: 200 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. Institut für Mikro- und Informationstechnik
Postanschrift: Wilhelm-Schickard-Str. 10
Postleitzahl: 78052
Postort: Villingen-Schwenningen
Kontakt
Internetadresse: http://www.hsg-imit.de 🌏
E-Mail: clemens.pecha@hsg-imit.de 📧
Telefon: +49 7721943190 📞
Fax: +49 7721943140 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-03-14 📅
Einreichungsfrist: 2014-04-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-03-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 055-091775
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 44-072966
ABl. S-Ausgabe: 55
Zusätzliche Informationen

“Für den Auftrag gelten die Allgemeinen Vertragsbestimmungen für die Ausführung von Leistungen (VOL) Teil B.”
Quelle: OJS 2014/S 055-091775 (2014-03-14)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2014-08-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 169 209 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2014-08-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2014-08-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2014/S 155-278572
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 55-091775
ABl. S-Ausgabe: 155
Quelle: OJS 2014/S 155-278572 (2014-08-12)
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