CD-SEM

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Beschaffung eines CD-SEM-Messgeräts für die Halbleiter-MEMS-Fertigung auf Si-Substraten.
Die Anlage muss mit mindestens 2 Loadports ausgestattet sein und sowohl 150- als auch 200 mm-Wafer mittels eines automatischen programmierbaren Handlingssystems im umrüstungsfreien Parallelbetrieb prozessieren können. Die Mindestauflösung bei einer Beschleunigungsspannung von 0.5 kV soll 3 nm betragen. Die erzielte Vergrößerung soll im Bereich zwischen 1 000- bis zu 200 000-facher Vergrößerung liegen. Das Gerät muss netzwerkfähig sein und ein automatisches „Recipe-Setup“ ermöglichen. Die Anlage muss mit einem Sekundärelektronen-(SE) und einem Rückstreuelektronen-(BSE) Detektor ausgestattet sein und verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (z. B. Signallampen, „EMO“-Schalter etc.). Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Recipe-Management, die Aufzeichnung aller relevanten Prozessdaten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-01-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-12-01.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Applied Materials South East Asia Pte Ltd

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Mikroskope › Elektronenmikroskope

Wo?

• • Sachsen › Dresden