CD-SEM
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Beschaffung eines CD-SEM-Messgeräts für die Halbleiter-MEMS-Fertigung auf Si-Substraten.
Die Anlage muss mit mindestens 2 Loadports ausgestattet sein und sowohl 150- als auch 200 mm-Wafer mittels eines automatischen programmierbaren Handlingssystems im umrüstungsfreien Parallelbetrieb prozessieren können. Die Mindestauflösung bei einer Beschleunigungsspannung von 0.5 kV soll 3 nm betragen. Die erzielte Vergrößerung soll im Bereich zwischen 1 000- bis zu 200 000-facher Vergrößerung liegen. Das Gerät muss netzwerkfähig sein und ein automatisches „Recipe-Setup“ ermöglichen. Die Anlage muss mit einem Sekundärelektronen-(SE) und einem Rückstreuelektronen-(BSE) Detektor ausgestattet sein und verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (z. B. Signallampen, „EMO“-Schalter etc.). Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Recipe-Management, die Aufzeichnung aller relevanten Prozessdaten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES).
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-01-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-12-01.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2015-12-01 | Auftragsbekanntmachung |
| 2015-12-16 | Ergänzende Angaben |
| 2016-05-17 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2015-12-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenmikroskope
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektronenmikroskope 📦
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-12-01 📅
Einreichungsfrist: 2016-01-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-12-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 236-427774
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 212-374880
ABl. S-Ausgabe: 236
Zusätzliche Informationen
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 3 Monate
Referenznummer: E_848_219408_cl-Ols
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-Mittel.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Verfahren
Voraussichtliche Anzahl von Bewerbern: 3
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungsunterlagen, Referenzen, Anzahl der ausgelieferten Geräte.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Frau Lönz
URL der Teilnahme: http://www.deutsch-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft e. V. über Vergabeportal deutsche-eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstr. 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsch-evergabe.de 🌏
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2014-11-04 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_848_219408_cl-Ols
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2014/S 212-374880
Zusätzliche Informationen
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2015/S 236-427774 (2015-12-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenmikroskope
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektronenmikroskope 📦
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-12-01 📅
Einreichungsfrist: 2016-01-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-12-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 236-427774
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 212-374880
ABl. S-Ausgabe: 236
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.
Die Zentrale der Fraunhofer Gesellschaft ist vom 23.12.2015 bis 6.1.2016 geschlossen. In dieser Zeit können auch keine Informationen zu lfd. Vergabeverfahren erteilt werden.
Sie erreichen uns wieder ab dem 7.1.2016.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Beschaffung eines CD-SEM-Messgeräts für die Halbleiter-MEMS-Fertigung auf Si-Substraten.
Die Anlage muss mit mindestens 2 Loadports ausgestattet sein und sowohl 150- als auch 200 mm-Wafer mittels eines automatischen programmierbaren Handlingssystems im umrüstungsfreien Parallelbetrieb prozessieren können. Die Mindestauflösung bei einer Beschleunigungsspannung von 0.5 kV soll 3 nm betragen. Die erzielte Vergrößerung soll im Bereich zwischen 1 000- bis zu 200 000-facher Vergrößerung liegen. Das Gerät muss netzwerkfähig sein und ein automatisches „Recipe-Setup“ ermöglichen. Die Anlage muss mit einem Sekundärelektronen-(SE) und einem Rückstreuelektronen-(BSE) Detektor ausgestattet sein und verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (z. B. Signallampen, „EMO“-Schalter etc.). Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Recipe-Management, die Aufzeichnung aller relevanten Prozessdaten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie eine dokumentierte Kommunikationsschnittstelle zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES).
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Dauer: 3 Monate
Referenznummer: E_848_219408_cl-Ols
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-Mittel.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre;
— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben;
— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde;
— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen;
— Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150 a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
— Komplette Referenzen (Kontaktdaten, Ansprechpartner) von vergleichbaren Systemen nicht älter als 3 Jahre;
— Nennung der Anzahl der gelieferten vergleichbaren Systeme…
… in Europa;
… weltweit.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen. Unvollständigkeit kann zum Ausschluss führen.
Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern ist spätestens mit Abgabe des Angebots sowie der Eignungsunterlagen bekanntzugeben. Ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.2) geforderten Unterlagen nachzuweisen. Der Anteil am Leistungsumfang ist dazulegen. Ferner ist vom Unterauftragnehmer rechtsverbindlich zu bestätigen, dass er im Auftragsfall uneingeschränkt zur Verfügung steht.
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Verfahren
Voraussichtliche Anzahl von Bewerbern: 3
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungsunterlagen, Referenzen, Anzahl der ausgelieferten Geräte.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Frau Lönz
URL der Teilnahme: http://www.deutsch-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft e. V. über Vergabeportal deutsche-eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstr. 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsch-evergabe.de 🌏
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2014-11-04 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_848_219408_cl-Ols
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2014/S 212-374880
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.
Die Zentrale der Fraunhofer Gesellschaft ist vom 23.12.2015 bis 6.1.2016 geschlossen. In dieser Zeit können auch keine Informationen zu lfd. Vergabeverfahren erteilt werden.
Sie erreichen uns wieder ab dem 7.1.2016.
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin.
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Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2015/S 236-427774 (2015-12-01)
Ergänzende Angaben (2015-12-16)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-12-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-12-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 246-446566
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 236-427774
ABl. S-Ausgabe: 246
Quelle: OJS 2015/S 246-446566 (2015-12-16)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-12-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-12-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 246-446566
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 236-427774
ABl. S-Ausgabe: 246
Quelle: OJS 2015/S 246-446566 (2015-12-16)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2016-05-17)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Hansastraße 27
Kontakt
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-05-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-05-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 095-170769
ABl. S-Ausgabe: 95
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_848_219408 cl
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (40)
2. Technische Ausführung (40)
3. Service (20)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-05-02 📅
Name: Applied Materials South East Asia Pte Ltd
Postanschrift: 8 Upper Changi North Road
Postort: Singapore
Postleitzahl: 506906
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Quelle: OJS 2016/S 095-170769 (2016-05-17)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Hansastraße 27
Kontakt
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-05-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-05-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 095-170769
ABl. S-Ausgabe: 95
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_848_219408 cl
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (40)
2. Technische Ausführung (40)
3. Service (20)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-05-02 📅
Name: Applied Materials South East Asia Pte Ltd
Postanschrift: 8 Upper Changi North Road
Postort: Singapore
Postleitzahl: 506906
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.
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