Ionenstrahlätzanlage
Technische Universität Dresden
Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer Anlage zum Ionenstrahlätzen von Wafern und geträgerten Einzelsubstraten bis zu einem Durchmesser von 150 mm zur Aufstellung im Vakuumtechnologielabor des Institutes für Festkörperelektronik der TU Dresden
Schlüsselanforderungen:
— Ionenquelle: Filamentlose Ionenquelle, die langzeitstabile
IBE-, RIBE- und CAIBE-Prozesse ermöglicht. Strahlneu-tralisation mit PBN und Ionenstrommessung mit Faraday-Cup.
— Vakuum-Prozesskammer: Eine Edelstahlkammer, die alle erforderlichen Flansche besitzt, leicht gereinigt werden kann und eine problemlose Wartung der Ionenquelle ermöglicht. Vakuumpumpsystem zur effektiven Evakuierung der Kammer bis zu Drücken unter 10-6 mbar und hochauflösendes Vakuummesssystem.
— Substrathalter: Dreh- und schwenkbares System für Proben bis zu 150 mm Durchmesser, das wassergekühlt ist und eine thermische Heliumankopplung zur Substratrückseite besitzt. Manuell und automatisch über einen Beladearm mit Proben bestückbar.
— Schleuse: Bestehend aus Edelstahl mit einem Beladetransport-system für Substrate bis mindestens 170 mm Außen-durchmesser zur automatischen Bestückung des Substrathalters. Vakuumpumpsystem zur effektiven Evakuierung der Schleuse bis zu Drücken unter 10-6 mbar und Vakuummesssystem.
— Gasversorgungssystem: 5 Gaskanäle mit MFC's und pneumatischen Absperrventilen.
— Anlagensteuerung: Manuell und automatisch. Übersichtliche Darstellung des Anlagenstatus, Ablage von Prozessabläufen und umfassende Protokollfunktionen. Fehlbedienungsschutz.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-04-21. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-03-06.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2015-03-06 | Auftragsbekanntmachung |
| 2015-07-28 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2015-03-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Menge oder Umfang:
“1 Stück Ionenstrahlätzanlage.800 000”
Gesamtwert des Auftrags: 800 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Dresden
Postanschrift: Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postleitzahl: 01062
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-dresden.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-dresden.de 📧
Telefon: +49 35146336273 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-03-06 📅
Einreichungsfrist: 2015-04-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-03-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 049-084992
ABl. S-Ausgabe: 49
Zusätzliche Informationen
“Die Bewertung der Angebote erfolgt auf Grundlage der einfachen Richtwertmethode nach UfAB V (Ermittlung des besten Preis-Leistungs-Verhältnisses). Die...”
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer Anlage zum Ionenstrahlätzen von Wafern und geträgerten Einzelsubstraten bis zu einem Durchmesser von 150 mm zur...”
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“Schlüsselanforderungen:”
“— Ionenquelle: Filamentlose Ionenquelle, die langzeitstabile”
“IBE-, RIBE- und CAIBE-Prozesse ermöglicht. Strahlneu-tralisation mit PBN und Ionenstrommessung mit Faraday-Cup.”
“— Vakuum-Prozesskammer: Eine Edelstahlkammer, die alle erforderlichen Flansche besitzt, leicht gereinigt werden kann und eine problemlose Wartung der...”
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“— Substrathalter: Dreh- und schwenkbares System für Proben bis zu 150 mm Durchmesser, das wassergekühlt ist und eine thermische Heliumankopplung zur...”
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“— Schleuse: Bestehend aus Edelstahl mit einem Beladetransport-system für Substrate bis mindestens 170 mm Außen-durchmesser zur automatischen Bestückung des...”
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“— Gasversorgungssystem: 5 Gaskanäle mit MFC's und pneumatischen Absperrventilen.”
“— Anlagensteuerung: Manuell und automatisch. Übersichtliche Darstellung des Anlagenstatus, Ablage von Prozessabläufen und umfassende Protokollfunktionen....”
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Menge oder Umfang:
“1 Stück Ionenstrahlätzanlage.”
Dauer: 7 Monate
Referenznummer: 1.2-055005/15
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“01187 Dresden.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“1. Nachweis über den Eintrag im Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der Gemeinschaft oder des Vertragsstaates des...”
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“2. Auszug aus dem Strafregister sowie eine Erklärung der Stelle, die das Insolvenzregister führt, oder – in Ermangelung solcher – eine gleichwertige...”
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Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“1. Vorlage einer amtlichen Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes bzw. eine eigene Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern,...”
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“2. Vorlage von Bankauskünften.”
“3. Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, jeweils bezogen...”
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Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Referenzliste der wesentlichen in den letzten zwei Jahren vergleichbar erbrachten Leistungen mit Angabe des Rechnungswertes, der Leistungszeit und des...”
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“Die Referenzliste darf nur vollständig abgeschlossene Leistungen enthalten. In der Referenzliste sollen folgende Informationen enthalten sein:”
“- Name und die Anschrift des jeweiligen Auftraggebers der Referenzleistung,”
“- eine Beschreibung der erbrachten Leistung nach Art, Umfang und Wert und”
“der Leistungszeitraum.”
“Darüber hinaus ist die Angabe einer Ansprechperson für Rückfragen beim Referenzauftraggeber erwünscht.”
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Lt. Vergabeunterlagen.”
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:
“Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.”
Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2015-06-23 📅
Languages
Language: Deutsch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Frau Kessinger
Internetadresse: www.tu-dresden.de 🌏
Land: Deutschland 🇩🇪
Referenz
Kennungen
Reference number attributed by the contracting authority: 1.2-055005/15
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
Internetadresse: http://ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rechtsbehelfe gemäß § 107 GWB:”
“(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.”
“(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von...”
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“(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit”
“1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,”
“2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist...”
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“3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
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“4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.”
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01062
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Quelle: OJS 2015/S 049-084992 (2015-03-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Menge oder Umfang:
“1 Stück Ionenstrahlätzanlage.800 000”
Gesamtwert des Auftrags: 800 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Dresden
Postanschrift: Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postleitzahl: 01062
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-dresden.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-dresden.de 📧
Telefon: +49 35146336273 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-03-06 📅
Einreichungsfrist: 2015-04-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-03-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 049-084992
ABl. S-Ausgabe: 49
Zusätzliche Informationen
“Die Bewertung der Angebote erfolgt auf Grundlage der einfachen Richtwertmethode nach UfAB V (Ermittlung des besten Preis-Leistungs-Verhältnisses). Die...”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer Anlage zum Ionenstrahlätzen von Wafern und geträgerten Einzelsubstraten bis zu einem Durchmesser von 150 mm zur...”
“Schlüsselanforderungen:”
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“— Ionenquelle: Filamentlose Ionenquelle, die langzeitstabile”
“IBE-, RIBE- und CAIBE-Prozesse ermöglicht. Strahlneu-tralisation mit PBN und Ionenstrommessung mit Faraday-Cup.”
“— Vakuum-Prozesskammer: Eine Edelstahlkammer, die alle erforderlichen Flansche besitzt, leicht gereinigt werden kann und eine problemlose Wartung der...”
“— Substrathalter: Dreh- und schwenkbares System für Proben bis zu 150 mm Durchmesser, das wassergekühlt ist und eine thermische Heliumankopplung zur...”
“— Schleuse: Bestehend aus Edelstahl mit einem Beladetransport-system für Substrate bis mindestens 170 mm Außen-durchmesser zur automatischen Bestückung des...”
“— Gasversorgungssystem: 5 Gaskanäle mit MFC's und pneumatischen Absperrventilen.”
“— Anlagensteuerung: Manuell und automatisch. Übersichtliche Darstellung des Anlagenstatus, Ablage von Prozessabläufen und umfassende Protokollfunktionen....”
“1 Stück Ionenstrahlätzanlage.”
Dauer: 7 Monate
Referenznummer: 1.2-055005/15
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“01187 Dresden.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“1. Nachweis über den Eintrag im Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der Gemeinschaft oder des Vertragsstaates des...”
“2. Auszug aus dem Strafregister sowie eine Erklärung der Stelle, die das Insolvenzregister führt, oder – in Ermangelung solcher – eine gleichwertige...”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“1. Vorlage einer amtlichen Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes bzw. eine eigene Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern,...”
“2. Vorlage von Bankauskünften.”
Mehr anzeigen (1)
“3. Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, jeweils bezogen...”
“Referenzliste der wesentlichen in den letzten zwei Jahren vergleichbar erbrachten Leistungen mit Angabe des Rechnungswertes, der Leistungszeit und des...”
“Die Referenzliste darf nur vollständig abgeschlossene Leistungen enthalten. In der Referenzliste sollen folgende Informationen enthalten sein:”
Mehr anzeigen (4)
“- Name und die Anschrift des jeweiligen Auftraggebers der Referenzleistung,”
“- eine Beschreibung der erbrachten Leistung nach Art, Umfang und Wert und”
“der Leistungszeitraum.”
“Darüber hinaus ist die Angabe einer Ansprechperson für Rückfragen beim Referenzauftraggeber erwünscht.”
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Lt. Vergabeunterlagen.”
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:
“Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.”
Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2015-06-23 📅
Languages
Language: Deutsch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Frau Kessinger
Internetadresse: www.tu-dresden.de 🌏
Land: Deutschland 🇩🇪
Referenz
Kennungen
Reference number attributed by the contracting authority: 1.2-055005/15
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
Internetadresse: http://ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rechtsbehelfe gemäß § 107 GWB:”
“(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.”
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“(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von...”
“(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit”
“1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,”
“2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist...”
“3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
“4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.”
Name: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01062
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Quelle: OJS 2015/S 049-084992 (2015-03-06)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2015-07-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 319 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-07-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 147-270734
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 49-084992
ABl. S-Ausgabe: 147
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Die in den Ausschreibungsunterlagen genannten Kriterien (100)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2015-06-23 📅
Name: scia systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Straße 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:”
Quelle: OJS 2015/S 147-270734 (2015-07-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 319 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-07-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 147-270734
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 49-084992
ABl. S-Ausgabe: 147
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Die in den Ausschreibungsunterlagen genannten Kriterien (100)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2015-06-23 📅
Name: scia systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Straße 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:”
Quelle: OJS 2015/S 147-270734 (2015-07-28)
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