Ionenstrahlätzanlage

Technische Universität Dresden

Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer Anlage zum Ionenstrahlätzen von Wafern und geträgerten Einzelsubstraten bis zu einem Durchmesser von 150 mm zur Aufstellung im Vakuumtechnologielabor des Institutes für Festkörperelektronik der TU Dresden
Schlüsselanforderungen:
— Ionenquelle: Filamentlose Ionenquelle, die langzeitstabile
IBE-, RIBE- und CAIBE-Prozesse ermöglicht. Strahlneu-tralisation mit PBN und Ionenstrommessung mit Faraday-Cup.
— Vakuum-Prozesskammer: Eine Edelstahlkammer, die alle erforderlichen Flansche besitzt, leicht gereinigt werden kann und eine problemlose Wartung der Ionenquelle ermöglicht. Vakuumpumpsystem zur effektiven Evakuierung der Kammer bis zu Drücken unter 10-6 mbar und hochauflösendes Vakuummesssystem.
— Substrathalter: Dreh- und schwenkbares System für Proben bis zu 150 mm Durchmesser, das wassergekühlt ist und eine thermische Heliumankopplung zur Substratrückseite besitzt. Manuell und automatisch über einen Beladearm mit Proben bestückbar.
— Schleuse: Bestehend aus Edelstahl mit einem Beladetransport-system für Substrate bis mindestens 170 mm Außen-durchmesser zur automatischen Bestückung des Substrathalters. Vakuumpumpsystem zur effektiven Evakuierung der Schleuse bis zu Drücken unter 10-6 mbar und Vakuummesssystem.
— Gasversorgungssystem: 5 Gaskanäle mit MFC's und pneumatischen Absperrventilen.
— Anlagensteuerung: Manuell und automatisch. Übersichtliche Darstellung des Anlagenstatus, Ablage von Prozessabläufen und umfassende Protokollfunktionen. Fehlbedienungsschutz.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-04-21. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-03-06.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• scia systems GmbH

Wer?

• Technische Universität Dresden

Wie?

• Elektronische Ausstattung › Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2015-03-06	Auftragsbekanntmachung
2015-07-28	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2015-03-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Menge oder Umfang: 1 Stück Ionenstrahlätzanlage.800 000
Gesamtwert des Auftrags: 800 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Dresden
Postanschrift: Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postleitzahl: 01062
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-dresden.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-dresden.de 📧
Telefon: +49 35146336273 📞
Fax: +49 35146337102 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-03-06 📅
Einreichungsfrist: 2015-04-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-03-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 049-084992
ABl. S-Ausgabe: 49
Zusätzliche Informationen

Die Bewertung der Angebote erfolgt auf Grundlage der einfachen Richtwertmethode nach UfAB V (Ermittlung des besten Preis-Leistungs-Verhältnisses). Die ausführliche Bewertungsmatrix ist Bestandteil der Vergabeunterlagen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Schlüsselanforderungen:

— Ionenquelle: Filamentlose Ionenquelle, die langzeitstabile

IBE-, RIBE- und CAIBE-Prozesse ermöglicht. Strahlneu-tralisation mit PBN und Ionenstrommessung mit Faraday-Cup.

— Vakuum-Prozesskammer: Eine Edelstahlkammer, die alle erforderlichen Flansche besitzt, leicht gereinigt werden kann und eine problemlose Wartung der Ionenquelle ermöglicht. Vakuumpumpsystem zur effektiven Evakuierung der Kammer bis zu Drücken unter 10-6 mbar und hochauflösendes Vakuummesssystem.

— Substrathalter: Dreh- und schwenkbares System für Proben bis zu 150 mm Durchmesser, das wassergekühlt ist und eine thermische Heliumankopplung zur Substratrückseite besitzt. Manuell und automatisch über einen Beladearm mit Proben bestückbar.

— Schleuse: Bestehend aus Edelstahl mit einem Beladetransport-system für Substrate bis mindestens 170 mm Außen-durchmesser zur automatischen Bestückung des Substrathalters. Vakuumpumpsystem zur effektiven Evakuierung der Schleuse bis zu Drücken unter 10-6 mbar und Vakuummesssystem.

— Gasversorgungssystem: 5 Gaskanäle mit MFC's und pneumatischen Absperrventilen.

— Anlagensteuerung: Manuell und automatisch. Übersichtliche Darstellung des Anlagenstatus, Ablage von Prozessabläufen und umfassende Protokollfunktionen. Fehlbedienungsschutz.

Menge oder Umfang: 1 Stück Ionenstrahlätzanlage.
Dauer: 7 Monate
Referenznummer: 1.2-055005/15
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01187 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

1. Nachweis über den Eintrag im Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der Gemeinschaft oder des Vertragsstaates des EWR-Abkommens.

2. Auszug aus dem Strafregister sowie eine Erklärung der Stelle, die das Insolvenzregister führt, oder – in Ermangelung solcher – eine gleichwertige Bescheinigung einer Gerichts- oder Verwaltungsbehörde des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens, aus der hervorgeht, dass für das Unternehmen nicht einer der genannten Ausschlussgründe gemäß § 6 EG Absatz 6 VOL/A vorliegt. Die Nachweise dürfen zum Zeitpunkt der Angebotsfrist nicht älter als zwölf Monate sein. Wird eine solche Bescheinigung in dem zutreffenden Land nicht ausgestellt, so kann sie durch eidesstattliche Erklärung ersetzt werden. In den Staaten, in denen es einen derartigen Eid nicht gibt, kann dieser durch eine feierliche Erklärung ersetzt werden. Die zuständige Behörde oder der Notar stellen eine Bescheinigung über die Echtheit der eidesstattlichen oder feierlichen Erklärung aus.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

1. Vorlage einer amtlichen Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes bzw. eine eigene Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung (kann durch die Anlage Erklärung ersetzt werden).

2. Vorlage von Bankauskünften.

3. Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, jeweils bezogen auf die letzten zwei abgeschlossenen Geschäftsjahre.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Referenzliste der wesentlichen in den letzten zwei Jahren vergleichbar erbrachten Leistungen mit Angabe des Rechnungswertes, der Leistungszeit und des Ansprechpartners.

Die Referenzliste darf nur vollständig abgeschlossene Leistungen enthalten. In der Referenzliste sollen folgende Informationen enthalten sein:

- Name und die Anschrift des jeweiligen Auftraggebers der Referenzleistung,

- eine Beschreibung der erbrachten Leistung nach Art, Umfang und Wert und

der Leistungszeitraum.

Darüber hinaus ist die Angabe einer Ansprechperson für Rückfragen beim Referenzauftraggeber erwünscht.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Lt. Vergabeunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2015-06-23 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Frau Kessinger
Internetadresse: www.tu-dresden.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 1.2-055005/15

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
Internetadresse: http://ldl.sachsen.de 🌏
Fax: +49 3419771049 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Rechtsbehelfe gemäß § 107 GWB:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 7 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Dresden, Sachgebiet Zentrale Beschaffung
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01062
Telefon: +49 35146334223 📞
Fax: +49 35146337102 📠
Quelle: OJS 2015/S 049-084992 (2015-03-06)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2015-07-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 319 000 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2015-07-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2015-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2015/S 147-270734
Verweist auf Bekanntmachung: 2015/S 49-084992
ABl. S-Ausgabe: 147

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Die in den Ausschreibungsunterlagen genannten Kriterien (100)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2015-06-23 📅
Name: scia systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Straße 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:
Quelle: OJS 2015/S 147-270734 (2015-07-28)

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