Uni-HD.2015.957-Direktschreibender Laserlithograph_KIP
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation, Einweisung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest und Abnahme eines maskenlosen Aligners bzw. direktschreibenden Laserlithographen, der eine strukturgebende Belichtung von Fotolack erlaubt.
Das System muss hierbei die Möglichkeiten eines traditionellen Maskenschreibers (direktschreibender Laserlithograph) sowie eines traditionellen Maskenpositionierers (Mask-Aligner) in einem Gerät vereinen. Dies bedeutet, dass das System einerseits die Erstellung von Fotomasken für einen Standard-Maskenpositionierer sowie andererseits direkt die Belichtung von Strukturen auf dem zur Herstellung eines Bauteils gewählten Substrats ermöglichen muss. Die Zeit sowie die Genauigkeit der Belichtung auf einem für die Herstellung eines Bauteils gewählten Substrats müssen hierbei mit der Zeit sowie der Genauigkeit bei einer manuellen Belichtung mit einem Standard-Maskenpositionierer vergleichbar sein.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2015-09-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2015-08-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2015-08-20
|
Auftragsbekanntmachung
|
| 2015-10-07
|
Bekanntmachung über vergebene Aufträge
|