Automatische Optische Inspektionsanlage (AOI)
Für die Endkontrolle mikromechanischer Komponenten (MEMS-Chips) plant Hahn-Schickard die Beschaffung einer Automatischen Optischen Inspektionsanlage (AOI). Inspiziert werden sollen vor allem prozessierte Wafer (gesägt oder ungesägt), wobei die maximale Substratgröße 150 mm betragen wird.
Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen. Sie soll außerdem für den Betrieb in einem Reinraum der Klasse 10 (ISO 4) geeignet sein.
Die Anlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen für eine automatische Inspektion erforderlichen Komponenten (Monitore, Bedienelemente, maschinenspezifische Adapter, Prozesspfade, Wartungspfade etc.) dar. Es existieren nach Übergabe/Abnahme funktionierende Prozesse.
Die zu beschaffende Anlage soll aus einem motorisierten Mikroskop mit rechnergesteuertem Präzisionskreuztisch, Laser-Autofokussystem und automatischer Be-/Entladeeinheit (Cassette-to-Cassette) sowie einer Digitalkamera mit Rechner inkl. Bilderkennungs- und –Verarbeitungssoftware bestehen. Des Weiteren sind Funktionen zur Strukturmessung, Fehlerzuordnung, statistischen Auswertung der Daten und zum Inken der Substrate zu integrieren.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-02-13.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-12-19.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2016-12-19
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Auftragsbekanntmachung
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