CD-SEM

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Teil 1 von 2:
Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) CD-SEM. In diesem CD-SEM werden 8“ (200 mm) Wafer.Das CD-SEM wird als Rasterelektronenmikroskop (SEM) und als Messgerät für das kritische Maß (CD) in unserer Standard Produktion verwendet.
Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das Messgerät beinhaltet eine Software, die das CD sowohl automatisch als auch manuell misst.
Das System soll vom Hersteller als “stand-alone-tool” oder “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-13.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Hitachi High-Technologies Europe GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• • Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• • Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt