CD-SEM
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Teil 1 von 2:
Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) CD-SEM. In diesem CD-SEM werden 8“ (200 mm) Wafer.Das CD-SEM wird als Rasterelektronenmikroskop (SEM) und als Messgerät für das kritische Maß (CD) in unserer Standard Produktion verwendet.
Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das Messgerät beinhaltet eine Software, die das CD sowohl automatisch als auch manuell misst.
Das System soll vom Hersteller als “stand-alone-tool” oder “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-13.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2016-09-13 | Auftragsbekanntmachung |
| 2017-06-14 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskope
Referenznummer: E_038_232218 cl-ort
Kurze Beschreibung:
“Teil 1 von 2: Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) CD-SEM. In diesem CD-SEM werden 8“ (200 mm) Wafer.Das CD-SEM...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rasterelektronenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-13 📅
Einreichungsfrist: 2016-10-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 180-322290
ABl. S-Ausgabe: 180
Zusätzliche Informationen
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
Quelle: OJS 2016/S 180-322290 (2016-09-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“CD-SEM.”
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-06-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 114-229361
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 180-322290
ABl. S-Ausgabe: 114
Quelle: OJS 2017/S 114-229361 (2017-06-14)