CD-SEM

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Teil 1 von 2:
Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) CD-SEM. In diesem CD-SEM werden 8“ (200 mm) Wafer.Das CD-SEM wird als Rasterelektronenmikroskop (SEM) und als Messgerät für das kritische Maß (CD) in unserer Standard Produktion verwendet.
Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das Messgerät beinhaltet eine Software, die das CD sowohl automatisch als auch manuell misst.
Das System soll vom Hersteller als “stand-alone-tool” oder “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-13.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Hitachi High-Technologies Europe GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2016-09-13	Auftragsbekanntmachung
2017-06-14	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2016-09-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskope
Referenznummer: E_038_232218 cl-ort
Kurze Beschreibung:

Teil 1 von 2: Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) CD-SEM. In diesem CD-SEM werden 8“ (200 mm) Wafer.Das CD-SEM wird als Rasterelektronenmikroskop (SEM) und als Messgerät für das kritische Maß (CD) in unserer Standard Produktion verwendet. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das Messgerät beinhaltet eine Software, die das CD sowohl automatisch als auch manuell misst. Das System soll vom Hersteller als “stand-alone-tool” oder “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rasterelektronenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-13 📅
Einreichungsfrist: 2016-10-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 180-322290
ABl. S-Ausgabe: 180
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Teil 1 von 2:

Das Fraunhofer IMS benötigt ein neues oder generalüberholtes („refurbished“) CD-SEM. In diesem CD-SEM werden 8“ (200 mm) Wafer.Das CD-SEM wird als Rasterelektronenmikroskop (SEM) und als Messgerät für das kritische Maß (CD) in unserer Standard Produktion verwendet.

Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von Kassette beladen. Das Messgerät beinhaltet eine Software, die das CD sowohl automatisch als auch manuell misst.

Das System soll vom Hersteller als “stand-alone-tool” oder “through the wall” im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.

Teil 2 von 2:

Für eine nachgewiesene Anlagenverfügbarkeit soll das System mit mehr als 500 Einheiten weltweit existieren.

Das System muss einen komplett sicheren Prozess-Ablauf ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Bedieners erlauben.

Wegen des begrenzten Reinraumbereichs muss die Hauptkammer des SEM einen kleineren Grundriss als 2 030 x 2 280 mm besitzen. Die elektronischen Gerüste, Vakuumpumpen und ein separates Bedienelement sind nicht in die Begrenzung eingeschlossen.

Dauer: 5 Monate
Beschreibung der Optionen: Optional kann die Verlängerung der Gewährleistung angeboten werden.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 47057 Duisburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Firmenprofil mit Angabe der Mitarbeiteranzahl;

— Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung;

— Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet;

— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen;

— Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, die CMOS kompatibel sein müssen und nicht älter als 3 Jahre;

— Einsatz nur für Reinraumklasse 10;

— Bestätigung für mindestens mehr als 500 installierte Systeme weltweit;

— Das Baujahr des Systems darf nicht älter als aus dem Jahr 2 000 sein.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:

Gemäß Eignungskriterien: Referenzen, Anzahl installierten Geräte, Reinraumklasse, Alter der Anlagen.

Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: X
Postanschrift: X
Postort: X
Postleitzahl: X
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2016/S 180-322290 (2016-09-13)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-06-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: CD-SEM.
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-06-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 114-229361
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 180-322290
ABl. S-Ausgabe: 114

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung und Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Serviceleistungen und Support
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-06-07 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2017/S 114-229361 (2017-06-14)

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