E_848_219422 cl-bla – Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

E_848_219422 cl-bla – Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen
Beschaffung einer Polymerrestentfernungsanlage nach Plasmaätz-Prozessen zur Halbleiterfertigung
Beschreibung:
Die Anlage muss 200 mm und 150 mm Wafer (optional) von der Vorder- und Rückseite mit organischen Lösungsmitten (z. B. EKC265, IPA) reinigen können sowie im Anschluss den Wafer trocknen können. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung in einem ISO 4 Reinraum zur Entfernung von Polymerresten nach Metallätz-Prozessen (z. B. AlSiCu, TiAl) vorgesehen.
Aufbau:
— Einkammer-Konfiguration für Losgröße 25 Wafer (optional 50 Wafer).
— Standard Prozess Carrier als Substrathalter verwendbar.
— 150 mm (optional) und 200 mm Wafer Bearbeitung ohne Rotorwechsel möglich.
— 4 Tanks für 2 verschiedene organischen Chemikalien (EKC265 <90°C, IPA Raumtemperatur) und DI-Wasser (Raumtemperatur), 2 beheizbare Tanks, 2 zirkulierende Tanks
— Trockenschleuder (1-2000 rpm +/- 1 %).
— Alle medienberührenden Oberflächen müssen kompatibel mit verwendeten Chemikalien und Gasen sein.
— Auswahl folgender Prozessschritte: für EKC265, IPA- DIW Spül- sowie Spray-Funktion, N2 zur Trocknung
— Prozessrezepteinstellungen (z.B. Temperatur, Bearbeitungszeit, chemischer Fluss usw.) und chemische Konzentrationen werden in-situ gemessen und vom Benutzerschnittstellencomputer kontrolliert.
Eigenschaften:
— Die Anlage ist nach dem aktuellen Stand der Technik mit allen notwendigen Einrichtungen versehen, um die Wafer einwandfrei reinigen und trockenen zu können.
— Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Löschanlage, Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.).
— Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management (Microsoft Office kompatibel), die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie ein dokumentiertes Kommunikationsprotokoll zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-03-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-02-16.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• OEM Group, Inc.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2016-02-16	Auftragsbekanntmachung
2016-09-20	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2016-02-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-02-16 📅
Einreichungsfrist: 2016-03-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-02-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 036-057873
Verweist auf Bekanntmachung: 2014/S 213-376728
ABl. S-Ausgabe: 36
Zusätzliche Informationen

Anforderung Unterlagen - erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. Nach § 11 der Vergabeordnung haben wir uns entschieden die Vergabeunterlagen ausschließlich digital über die Deutsche eVergabe anzubieten. - Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§22 EG VOL) - Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

E_848_219422 cl-bla – Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen

Beschaffung einer Polymerrestentfernungsanlage nach Plasmaätz-Prozessen zur Halbleiterfertigung

Beschreibung:

Die Anlage muss 200 mm und 150 mm Wafer (optional) von der Vorder- und Rückseite mit organischen Lösungsmitten (z. B. EKC265, IPA) reinigen können sowie im Anschluss den Wafer trocknen können. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung in einem ISO 4 Reinraum zur Entfernung von Polymerresten nach Metallätz-Prozessen (z. B. AlSiCu, TiAl) vorgesehen.

Aufbau:

— Einkammer-Konfiguration für Losgröße 25 Wafer (optional 50 Wafer).

— Standard Prozess Carrier als Substrathalter verwendbar.

— 150 mm (optional) und 200 mm Wafer Bearbeitung ohne Rotorwechsel möglich.

— 4 Tanks für 2 verschiedene organischen Chemikalien (EKC265 <90°C, IPA Raumtemperatur) und DI-Wasser (Raumtemperatur), 2 beheizbare Tanks, 2 zirkulierende Tanks

— Trockenschleuder (1-2000 rpm +/- 1 %).

— Alle medienberührenden Oberflächen müssen kompatibel mit verwendeten Chemikalien und Gasen sein.

— Auswahl folgender Prozessschritte: für EKC265, IPA- DIW Spül- sowie Spray-Funktion, N2 zur Trocknung

— Prozessrezepteinstellungen (z.B. Temperatur, Bearbeitungszeit, chemischer Fluss usw.) und chemische Konzentrationen werden in-situ gemessen und vom Benutzerschnittstellencomputer kontrolliert.

Eigenschaften:

— Die Anlage ist nach dem aktuellen Stand der Technik mit allen notwendigen Einrichtungen versehen, um die Wafer einwandfrei reinigen und trockenen zu können.

— Die Anlage verfügt über alle notwendigen Sicherheitseinrichtungen (Löschanlage, Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.).

— Der Steuerungsrechner erlaubt ein komfortables Rezept-Management (Microsoft Office kompatibel), die zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-Daten, einen Remote-Zugriff über TCP/IP sowie ein dokumentiertes Kommunikationsprotokoll zur Ansteuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Beschreibung der Optionen: Optional ist Zubehör anzubieten.
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: E_848_219422 cl-bla - Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-Mittel.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: (1) Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre,

(3) Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung,

(4) Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet,

(5) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert),

(6) Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

(7) Komplette Referenzen (Kontaktdaten, Ansprechpartner) von vergleichbaren Anlagen für CMOS und MEMS Prozessierungen, nicht älter als 3 Jahre,

(8) Nennung der Anzahl der gelieferten vergleichbaren Systeme für die Halbleiterindstrie in Europa,

(9) Nennung der Anzahl der gelieferten vergleichbaren Systeme für die Halbleiterindstrie weltweit,

(10) Angabe der Entfernung des Servicestandortes zum Institut IPMS,

(11) Angabe der Anzahl der Mitarbeiter im Service.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Nach VOL und Vergabeunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.2.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien:

Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Anzahl der installierten Geräte, Servicestandart.

Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: C2 – Einkauf
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstraße 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2014-11-05 📅
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_848_219422 cl-bla - Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2014/S 213-376728
Zusätzliche Informationen

Anforderung Unterlagen - erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal

der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. Nach § 11 der Vergabeordnung

haben wir uns entschieden die Vergabeunterlagen ausschließlich digital über die Deutsche eVergabe

anzubieten.

- Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote

(§22 EG VOL)

- Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabestelle siehe I.1)
Quelle: OJS 2016/S 036-057873 (2016-02-16)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2016-09-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_848_219422 cl-bla
Kurze Beschreibung: E_848_219422 cl-bla – Polymerrestrestentfernungsanlage.
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 184-329709
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 036-057873
ABl. S-Ausgabe: 184

Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-Mittel.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technologische Anforderungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service
Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung (Maglev Pumpen, Sicherheitssysteme (Löschanlage, Gaswarnsysteme, Signal-Lampen, UPS, etc.), komfortables Rezept-Management, zeitaufgelöste Aufzeichnung aller relevanter Prozess-D
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-08-24 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2016/S 184-329709 (2016-09-20)

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