Partikelmessgerät

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Partikelmessgerät
Das Partikelmeßgerät dient zur Bestimmung der Anzahl und Größe von unerwünschten Partikeln von hochreinen Siliziumwafern.
Durch das Abscannen der Waferoberfläche mittles Laserstrahl können auch Defekte wie Kratzer oder eine zu hohe Öberflächenrauhigkeit erfasst werden.
Das Gerät soll für blanke, beschichtete oder strukturierte Wafer mit einem Durchmesser von 200mm und 150mm eingesetzt werden.
Die Partikelmessung ist unerlässlich für die Kontaminationsüberwachung unserer Anlagen hinsichtlich der Hardware als auch der Prozeßrezepte.
Es soll ein Neugerät oder ein gebrauchtes, generalüberholtes, freistehendes und reinraumtaugliches Meßgerät beschafft werden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-05-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-04-14.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2016-04-14 Auftragsbekanntmachung
2016-06-01 Ergänzende Angaben
2016-07-27 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2016-08-02 Ergänzende Angaben
Ergänzende Angaben (2016-08-02)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Carla Lönz
Telefon: +49 891205-3229 📞
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Fax: +49 891205-7547 📠
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Optical Surface Analyzer. E_827_205016 cl
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung: E_827_205016 Optical Surface Analyzer.

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2016/S 148-267516

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: II.2.4
Ort des zu ändernden Textes: Beschreibung der Beschaffung
Alter Wert
Text:
“Optical Surface Analyzer, Candela CS10V consisting of: 1x Si/GaAs sub, GaAs-on-GaAs (O) included 1x 300 – 350um included 1x 6" Porous Chuck (for thin and...”    Mehr anzeigen
Neuer Wert
Text: Optical Surface Analyzer, Candela CS10V.
Quelle: OJS 2016/S 150-271007 (2016-08-02)