Partikelmessgerät

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Partikelmessgerät
Das Partikelmeßgerät dient zur Bestimmung der Anzahl und Größe von unerwünschten Partikeln von hochreinen Siliziumwafern.
Durch das Abscannen der Waferoberfläche mittles Laserstrahl können auch Defekte wie Kratzer oder eine zu hohe Öberflächenrauhigkeit erfasst werden.
Das Gerät soll für blanke, beschichtete oder strukturierte Wafer mit einem Durchmesser von 200mm und 150mm eingesetzt werden.
Die Partikelmessung ist unerlässlich für die Kontaminationsüberwachung unserer Anlagen hinsichtlich der Hardware als auch der Prozeßrezepte.
Es soll ein Neugerät oder ein gebrauchtes, generalüberholtes, freistehendes und reinraumtaugliches Meßgerät beschafft werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-05-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-04-14.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• KLA-Tencor Corporation

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2016-04-14	Auftragsbekanntmachung
2016-06-01	Ergänzende Angaben
2016-07-27	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2016-08-02	Ergänzende Angaben

Auftragsbekanntmachung (2016-04-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge oder Umfang: 1 Stk.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-04-14 📅
Einreichungsfrist: 2016-05-30 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-04-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 076-133778
ABl. S-Ausgabe: 76
Zusätzliche Informationen

Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. Nach § 11 der Vergabeordnung haben wir uns entschieden die Vergabeunterlagen ausschließlich digital über die Deutsche eVergabe anzubieten. Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig. Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebot (§22 EG VOL).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Partikelmessgerät

Das Partikelmeßgerät dient zur Bestimmung der Anzahl und Größe von unerwünschten Partikeln von hochreinen Siliziumwafern.

Durch das Abscannen der Waferoberfläche mittles Laserstrahl können auch Defekte wie Kratzer oder eine zu hohe Öberflächenrauhigkeit erfasst werden.

Das Gerät soll für blanke, beschichtete oder strukturierte Wafer mit einem Durchmesser von 200mm und 150mm eingesetzt werden.

Die Partikelmessung ist unerlässlich für die Kontaminationsüberwachung unserer Anlagen hinsichtlich der Hardware als auch der Prozeßrezepte.

Es soll ein Neugerät oder ein gebrauchtes, generalüberholtes, freistehendes und reinraumtaugliches Meßgerät beschafft werden.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Beschreibung der Optionen: Optional soll Zubehör angeboten werden.
Dauer: 3 Monate
Referenznummer: E_848_205000 cl-wit
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 80686 München.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben

— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde

— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen

— Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Nach VOL und Vergabeunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.2.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-07-08 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Telefon: +49 6119491060 📞
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal der deutschen eVergabe
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Telefon: +49 611/9491060 📞

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: E_848_205000 cl-wit
Zusätzliche Informationen

Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden.

Nach § 11 der Vergabeordnung haben wir uns entschieden die Vergabeunterlagen ausschließlich digital über die Deutsche eVergabe anzubieten.

Die Nutzung der Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebot (§22 EG VOL).

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden.

Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin.

Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabestelle siehe I.1
Quelle: OJS 2016/S 076-133778 (2016-04-14)

Ergänzende Angaben (2016-06-01)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-06-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-06-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 107-191062
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 076-133778
ABl. S-Ausgabe: 107
Quelle: OJS 2016/S 107-191062 (2016-06-01)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2016-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_827_205016 cl
Kurze Beschreibung:

E_827_205016; Optical Surface Analyzer.

Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-07-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-08-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 148-267516
ABl. S-Ausgabe: 148

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

E_827_205016;

Optical Surface Analyzer.

Optical Surface Analyzer, Candela CS10V consisting of:

1x Si/GaAs sub, GaAs-on-GaAs (O) included

1x 300 – 350um included

1x 6" Porous Chuck (for thin and warped substrates) included

1x 8" PEEK Chuck (for thin and warped substrates included

1x 230 VAC 50/60 HZ included

1x Min Substrate Thickness>300 mm included

1x Std 494nm PSL, 100 mm Silicon included

2x customized PSL wafers included

0254973-000

1x CANDELA WAFER Warranty (Regular) included

WRWAFER-01

1x CANDELA WAFERWarranty (Extended) included

WRWAFER-ES

1x CANDELA WAFER Apps Support in Warranty included

5x Number of Days included

AOWAFER-01

1x Basic Operations Training included.

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-06-30 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2016/S 148-267516 (2016-07-27)

Ergänzende Angaben (2016-08-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

E_827_205016 Optical Surface Analyzer.

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-08-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-08-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 150-271007
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 148-267516
ABl. S-Ausgabe: 150

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: E_827_205016
Quelle: OJS 2016/S 150-271007 (2016-08-02)

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