Kurze Beschreibung
1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle.
Es wird eine Anlage, Stückzahl 1, mit entkoppelter Plasmaquelle zum reaktiven Ionenätzen von metallischen Nanostrukturen und Hartmasken (insbesondere aus Chrom, Aluminium, Platin) sowie der Strukturierung von Aluminiumnitrid als piezoelektrischem Wandlermaterial beschafft. Fortsetzung unter II.2.4).