1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle.
Es wird eine Anlage, Stückzahl 1, mit entkoppelter Plasmaquelle zum reaktiven Ionenätzen von metallischen Nanostrukturen und Hartmasken (insbesondere aus Chrom, Aluminium, Platin) sowie der Strukturierung von Aluminiumnitrid als piezoelektrischem Wandlermaterial beschafft. Fortsetzung unter II.2.4).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-08-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Werkzeugmaschinen für die Metallbearbeitung › Werkzeugmaschinen für die Metalloberflächenbehandlung

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Sachsen › Chemnitz

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-07-19	Auftragsbekanntmachung
2017-08-16	Ergänzende Angaben
2017-09-29	Ergänzende Angaben
2017-12-07	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-07-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Werkzeugmaschinen für die Metalloberflächenbehandlung
Referenznummer: E_134_251854 grg-ort FMD
Kurze Beschreibung:

1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle. Es wird eine Anlage, Stückzahl 1, mit entkoppelter Plasmaquelle zum reaktiven Ionenätzen von metallischen Nanostrukturen und Hartmasken (insbesondere aus Chrom, Aluminium, Platin) sowie der Strukturierung von Aluminiumnitrid als piezoelektrischem Wandlermaterial beschafft. Fortsetzung unter II.2.4).

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Werkzeugmaschinen für die Metalloberflächenbehandlung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Chemnitz 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-07-19 📅
Einreichungsfrist: 2017-08-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-07-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 138-282780
ABl. S-Ausgabe: 138
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle.

Es wird eine Anlage, Stückzahl 1, mit entkoppelter Plasmaquelle zum reaktiven Ionenätzen von metallischen Nanostrukturen und Hartmasken (insbesondere aus Chrom, Aluminium, Platin) sowie der Strukturierung von Aluminiumnitrid als piezoelektrischem Wandlermaterial beschafft. Fortsetzung unter II.2.4).

Ergänzung zu Punkt II.1.4) Das System soll 200-mm-Siliziumwafer ätzen können. Die Ätzung von Siliziumwafern von 150 mm Durchmesser (nach SEMI-Standard) muss, gegebenenfalls durch Umrüstung der Anlage mittels mitgeliefertem Umrüstsatz, genauso möglich sein. Neben Siliziumsubstraten müssen die Schichten auch auf Glas- und auf SOI-Substraten geätzt werden können. Die Ätzanlage soll für die Ätzung der beschriebenen Schichten ebenso wie für die Forschung an und Entwicklung von neuartigen, insbesondere zyklisch geschalteten, Prozessschritten geeignet sein. Weitere technische Beschreibung gemäß Leistungsverzeichnis.

Dauer: 10 Monate
Beschreibung der Optionen:

5.1 4 Jahre Wartungsvertrag unter Angabe aller Kosten und Wartungszyklen (kunden- und firmenseitig) pro Jahr. Eine Gefährdungsbeurteilung für Betrieb und Wartung der Anlage wird erwartet. 5.2 Ein firmenseitiger Service-Einsatz muss innerhalb von 2 Werktagen möglich sein. 5.3 Verschleißteilsatz, Teilesatz für vorbeugende Wartung 5.4 Garantieverlängerung auf 24 Monate 5.5 Adapter, heliumgekühlt, für Ätzung von 100-mm-Substraten 5.6 Adapter, heliumgekühlt, für Ätzung von Coupons.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 09126 Chemnitz.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-09-27 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-08-18 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 138-282780 (2017-07-19)

Ergänzende Angaben (2017-08-16)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-08-16 📅
Einreichungsfrist: 2017-08-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-08-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 158-327108
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 138-282780
ABl. S-Ausgabe: 158
Quelle: OJS 2017/S 158-327108 (2017-08-16)

Ergänzende Angaben (2017-09-29)
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-29 📅
Einreichungsfrist: 2017-10-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-10-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 190-388989
ABl. S-Ausgabe: 190
Quelle: OJS 2017/S 190-388989 (2017-09-29)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle Es wird eine Anlage, Stückzahl 1, mit entkoppelter Plasmaquelle zum reaktiven Ionenätzen von metallischen Nanostrukturen und Hartmasken (insbesondere aus Chrom, Aluminium, Platin) sowie der Strukturierung von Aluminiumnitrid als piezoelektrischem Wandlermaterial beschafft. Fortsetzung unter II.2.4).

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 238-493727
ABl. S-Ausgabe: 238

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: 1 Stück, RIE Ätzsystem für Metalle
Beschreibung der Optionen:

5.1 4 Jahre Wartungsvertrag unter Angabe aller Kosten und Wartungszyklen (kunden- und firmenseitig) pro Jahr. Eine Gefährdungsbeurteilung für Betrieb und Wartung der Anlage wird erwartet,

5.2 Ein firmenseitiger Service-Einsatz muss innerhalb von zwei Werktagen möglich sein, 5.3 Verschleißteilsatz, Teilesatz für vorbeugende Wartung,

5.4 Garantieverlängerung auf 24 Monate 5.5 Adapter, heliumgekühlt, für Ätzung von 100-mm-Substraten 5.6 Adapter, heliumgekühlt, für Ätzung von Coupons.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 09126 Chemnitz

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Energieeffizienz
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung (siehe Detaillierung)
Qualitätskriterium (Gewichtung): 35
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-10-23 📅

Ergänzende Informationen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Quelle: OJS 2017/S 238-493727 (2017-12-07)

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