Kurze Beschreibung
Zur Charakterisierung von Leistungsbauelementen wird ein Leistungsmess-System benötigt, das die Grund- und Oberwellen bis 40 GHz über aktive Lasten abstimmen kann („Active Load Pull“). Dabei soll die Grundwelle und 2 harmonische Wellen bis zu einer Leistung von min. 100 W auf einem vorhandenen Wafer-Prober auf prozessierten Wafern analysiert werden können.