ALD-Anlage zur hermetischen Passivierung von photonischen III/V Komponenten

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Aus einem Stück gefertigter, bis 50 °C elektrisch geheizt und temperaturgeregelter Aluminium-Reaktor (gut von oben zugänglich für eine schnelle und einfache mechanische Reaktorreinigung oder Wartung) – flache, ebene, hocheffiziente, schnell schaltbare ICP-Quelle für ein direktes (kein Remote), stabil brennendes und pulsbares Plasma – höhenverstellbare, elektrisch isolierte sowie bis 300 °C geheizt und temperaturstabilisierte Substratelektrode für Substrate und Träger bis max. 200 mm Durchmesser integrierte Gasbox für bis zu zwölf separate Gaslinien ohne Bypass oder sechs mit Bypass inklusive Abluft-Ausgang Vakuumsystem – RFC Steuerung (Field Bus Controller) – Laser-Ellipsometrie für eine Echtzeit-Prozessbeobachtung und zur Endpunktdetektion *ICPECVD* Hochleistungs-Inspektions-Mikroskop.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-18. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-10.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Sentech GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Deutschland › Berlin
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-08-10	Auftragsbekanntmachung
2017-10-23	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-08-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_124_224357 tk-wit FMD
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-08-10 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-08-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 154-318984
ABl. S-Ausgabe: 154
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen auch die anderen Bewerber noch rechtzeitig erreichen, müssen die Rückfragen oder Hinweise bis spätestens 11.9.2017 eingehen. Spätere Fragen oder Hinweise können im Sinne des Wettbewerbs und der Gleichbehandlung nicht mehr beantwortet/bearbeitet werden.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Dauer: 9 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 10587 Berlin.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-10-23 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-09-19 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 154-318984 (2017-08-10)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-10-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Aus einem Stück gefertigter, bis 50 °C elektrisch geheizt und temperaturgeregelter Aluminium-Reaktor (gut von oben zugänglich für eine schnelle und einfache mechanische Reaktorreinigung oder Wartung) – flache, ebene, hocheffiziente, schnell schaltbare ICP-Quelle für ein direktes (kein Remote), stabil brennendes und pulsbares Plasma – höhenverstellbare, elektrisch isolierte sowie bis 300 °C geheizt und temperaturstabilisierte Substratelektrode für Substrate und Träger bis max. 200 mm Durchmesser integrierte Gasbox für bis zu 12 separate Gaslinien ohne Bypass oder sechs mit Bypass inklusive Abluft-Ausgang Vakuumsystem – RFC Steuerung (Field Bus Controller) – Laser-Ellipsometrie für eine Echtzeit-Prozessbeobachtung und zur Endpunktdetektion *ICPECVD* Hochleistungs-Inspektions-Mikroskop.

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-10-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-10-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 206-425046
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 154-318984
ABl. S-Ausgabe: 206

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Stellfläche
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-09-28 📅

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Quelle: OJS 2017/S 206-425046 (2017-10-23)

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