Cluster-Trockenätzanlage

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.

Hahn-Schickard beabsichtigt eine Neuanschaffung einer Cluster-Trockenätzanlage für die Strukturierung von Silizium und dielektrischen Schichten. Die Anlage muss für die Bearbeitung von 100 mm- und 150 mm-Wafern geeignet sein und soll dem 200 mm SEMI MESC Standard entsprechen. Die Anlage soll aus zwei ICP-RIE Kammern bestehen und jeweils über eine eigene Kassettenstation beladen werden. Die Anlage ist für einen 3-Schichtbetrieb auszulegen und soll für den Betrieb in einem Reinraum der Klasse 10 (ISO 4) geeignet sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-04-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-03-09.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.

Wie?

• Industrielle Maschinen › Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

Wo?

• Freiburg › Schwarzwald-Baar-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-03-09	Auftragsbekanntmachung
2017-05-31	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-03-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Menge oder Umfang:

Die Cluster-Trockenätzanlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen zur Produktion erforderlichen Komponenten dar. Es existieren nach Übergabe/Abnahme produktionstaugliche Prozesse. Es ist ein Bedienermodus, ein Entwicklungsmodus und ein Servicemodus zu realisieren. Prozessdaten sind lokal auf dem System selbst zu speichern sowie über eine Schnittstelle abzurufen. Zusätzlich muss auch die Anbindung an ein lokales Netzwerk möglich sein.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.
Postanschrift: Wilhelm-Schickad-Straße 10
Postleitzahl: 78052
Postort: Villingen-Schwenningen
Kontakt
Internetadresse: http://www.Hahn-Schickard.de 🌏
E-Mail: sandy.rockstroh@hahn-schickard.de 📧
Telefon: +49 7721943336 📞
Fax: +49 7721943140 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-03-09 📅
Einreichungsfrist: 2017-04-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-03-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 051-094833
ABl. S-Ausgabe: 51
Zusätzliche Informationen

Die Ausschreibungsunterlagen, bestehend aus Anschreiben und Spezifikation, können direkt unter www.Hahn-Schickard.de (auf Startseite, rechts mittig unter Öffentliche Ausschreibungen) heruntergeladen werden. Nach § 9 VgV haben Sie die Möglichkeit zur Registrierung. So kann sichergestellt werden, dass Sie über Änderungen im Vergabeprozess zeitnah informiert werden.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Dauer: 10 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 78052 Villingen-Schwenningen.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

1. Aussagekräftiges Firmenprofil.

2. Eigenerklärung zu Nichtvorliegen von Ausschlussgründen gem. § 123 (Zwingende Ausschlussgründe) und § 124 (Fakultative Ausschlussgründe) GWB.

3. Eigenerklärung über die Umsätze der letzten 3 Jahre.

4. Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben.

5. Nachweis einer Betriebshaftpflichtversicherung.

6. Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.

7. Eigenerklärung über das Einhalten des Tariftreue- und Mindestlohngesetzes.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: 1. Gesamtpreis der Lieferleistung.
Technische und berufliche Fähigkeiten:

1. Erfüllung der technischen Spezifikationen.

2. Nachweis von mindestens 4 Referenzen erfolgreicher Inbetriebnahmen derartiger Systeme im universitären oder industriellen Bereich innerhalb der vergangenen 3 Jahre, mindestens jedoch seit Geschäftsaufnahme; dabei spielen vor allem die Ätzung von Silizium bzw. Siliziumoxiden und geringe Ausfallzeiten für MEMS-Anwendungen eine tragende Rolle – beide Kriterien sollen in den Referenzen ersichtlich sein.

3. Eigenerklärung über die Anzahl der derzeit Beschäftigten.

4. Eigenerklärung über das Vorhandensein eines deutschsprachigen Service-Personals.

5. Nachweis einer Zertifizierung nach DIN EN ISO 9001.

Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien:

Der Anbieter muss für Zahlungen bis nach Lieferung eine Vertragserfüllungsbürgschaft einer anerkannten deutschen oder europäischen Bank hinterlegen.

Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Gemäß VOL Teil B – Nach Auftragsbestätigung werden 30 % des Kaufpreises angezahlt. Nach Lieferung werden weitere 60 % gezahlt, die Schlusszahlung von 10 % erfolgt nach Schlussabnahme und vollständiger Fehlerbeseitigung.

Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll:

Für den Auftrag gelten die Allgemeinen Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen (VOL Teil B). Für die Überschreitung der Ausführungsfristen wird eine Vertragsstrafe vereinbart. Diese beträgt für jede vollendete Woche 0,5 % desjenigen Teils der Leistung, der nicht genutzt werden kann. Sie beträgt maximal 8 % dieses Wertes, aber maximal 5 % des Auftragswertes.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-05-31 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Zentrale Dienste
Sandy Rockstroh
Internetadresse: www.Hahn-Schickard.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: www.Hahn-Schickard.de 🌏
URL der Dokumente: www.Hahn-Schickard.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Nach erfolgloser Rüge beim Auftraggeber hat der Bieter innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung über die Nichtabhilfe der Rüge gem. §107 GWB das Antragsrecht auf Einlegung eines Nachprüfungsverfahrens bei der Vergabekammer Baden-Württemberg.

Quelle: OJS 2017/S 051-094833 (2017-03-09)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-05-31)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-05-31 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 105-211031
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 051-094833
ABl. S-Ausgabe: 105

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: D-78052 Villingen-Schwenningen.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Angebotspreis (50)
2. Erfüllung der technischen Spezifikationen (50)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-05-15 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2017/S 105-211031 (2017-05-31)

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