Kurze Beschreibung
Für die kontaktlose Metrologie von lithographischen und ultrapräzisionsbearbeiteten Oberflächenprofilen von optischen Komponenten wird ein reinraumtaugliches Laser-Scanning-Mikroskop benötigt. Die besonderen Anforderungen liegen in der höchstmöglichen Auflösung, den Messwellenlängen und unterschiedliche Geometrien der zu untersuchenden Substrate.