Lieferung, Installation, Inbetrieb- und Endabnahme einer Plasmaätzanlage für das Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse durch Plasmaätzprozesse zu ersetzen und dabei die Strukturhaltigkeit (Kantenformen, Unterätzung) wesentlich zu verbessern. Dabei dürfen keine irreversiblen Strahlenschäden an den Bauteilen auftreten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-06.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-09-29.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-09-29
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Auftragsbekanntmachung
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| 2018-06-22
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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