Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse durch Plasmaätzprozesse zu ersetzen und dabei die Strukturhaltigkeit (Kantenformen, Unterätzung) wesentlich zu verbessern. Dabei dürfen keine irreversiblen Strahlenschäden an den Bauteilen auftreten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-06.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-09-29.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Auftragsbekanntmachung (2017-09-29) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: AS17/11
Kurze Beschreibung:
“Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse...”
Kurze Beschreibung
Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse durch Plasmaätzprozesse zu ersetzen und dabei die Strukturhaltigkeit (Kantenformen, Unterätzung) wesentlich zu verbessern. Dabei dürfen keine irreversiblen Strahlenschäden an den Bauteilen auftreten.
Mehr anzeigen Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Andere
Name des öffentlichen Auftraggebers: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
Postanschrift: Otto-Hahn-Ring 6
Postleitzahl: 81739
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.hll.mpg.de🌏
E-Mail: ausschreibung@mpp.mpg.de📧
Telefon: +49 8932354217📞
Fax: +49 8932354460 📠
URL der Dokumente: https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/I0PvL5R7eMSKhfT🌏
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-06-22) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse...”
Kurze Beschreibung
Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse durch Plasmaätzprozesse zu ersetzen und dabei die Strukturhaltigkeit (Kantenformen, Unterätzung) wesentlich zu verbessern. Dabei dürfen keine irreversiblen
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Total value of the procurement: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge