PECVD-Anlage

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.

Hahn-Schickard beabsichtigt die Neuanschaffung einer Parallelplattenreaktor-PECVD-Anlage für das Beschichten von hauptsächlich 100 mm- und 150 mm-Wafern als Ersatz bzw. technologische Erweiterung vorhandener Gerätschaften. Die Anlage muss das Beschichten mit unterscheidlichen PECVD-Schichten wie SiO2 und Si3N4 ermöglichen und ist für einen 3-Schichtbetrieb in einem Reinraum der Klasse 10 (ISO 4) auszulegen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-04-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-03-09.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.

Wie?

• Industrielle Maschinen › Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

Wo?

• Freiburg › Schwarzwald-Baar-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-03-09	Auftragsbekanntmachung
2017-05-31	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-03-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Menge oder Umfang:
“Die PECVD-Anlage stellt eine voll funktionsfähige Einheit mit allen zur Produktion erforderlichen Komponenten dar. Es existieren nach Übergabe/Abnahme...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.
Postanschrift: Wilhelm-Schickad-Straße 10
Postleitzahl: 78052
Postort: Villingen-Schwenningen
Kontakt
Internetadresse: http://www.Hahn-Schickard.de 🌏
E-Mail: sandy.rockstroh@hahn-schickard.de 📧
Telefon: +49 7721943336 📞
Fax: +49 7721943140 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-03-09 📅
Einreichungsfrist: 2017-04-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-03-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 051-094828
ABl. S-Ausgabe: 51
Zusätzliche Informationen

“Die Ausschreibungsunterlagen, bestehend aus Anschreiben und Spezifikation, können direkt unter www.Hahn-Schickard.de (auf Startseite, rechts mittig unter...”
Quelle: OJS 2017/S 051-094828 (2017-03-09)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-05-31)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-05-31 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 105-211030
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 051-094828
ABl. S-Ausgabe: 105
Quelle: OJS 2017/S 105-211030 (2017-05-31)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Industrielle Maschinen (>20 neue Beschaffungen)

Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (>20)