Thermische und Plasma-unterstützte Atomlagenabscheideanlage
Lieferung und Installation einer thermischen und Plasma-unterstützten Atomlagenabscheideanlage (PE-ALD) für das Beschichten von Proben mit diversen Materialien, hauptsächlich Metalloxiden. Die Beschichtungsanlage muss als eine Ein–Kammer–Loadlock-Anlage zur Beschichtung von Substraten mittels PE-ALD aufgebaut sein.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-04-27.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-03-21.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-03-21
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Auftragsbekanntmachung
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| 2017-05-30
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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